[发明专利]一种镀膜基片架及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201510759845.3 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN105316641B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 董清世;邵世强;李晓东;韦珂珂 | 申请（专利权）人： | 信义光伏产业（安徽）控股有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 基片架 真空镀膜 设备 | ||
1.一种镀膜基片架，其特征在于，包括用于传动和支撑的外部框架(1)和设置在所述外部框架(1)内的至少两个竖杆(2)和至少两个横杆(3)，每相邻的两个所述竖杆(2)和每相邻的两个所述横杆(3)围合成尺寸可调的内部框架(4)；每一所述竖杆(2)与每一所述横杆(3)滑动连接，每一所述竖杆(2)可沿所述横杆(3)的长度方向滑动，每一所述横杆(3)可沿所述竖杆(2)的长度方向滑动，以调节所述内部框架(4)的尺寸；所述镀膜基片架还包括用于将每一所述竖杆(2)分别滑动连接在所述横杆(3)上的滑块(5)，所述滑块(5)包括滑动部(51)和与所述滑动部(51)固定连接的夹持部(52)。
2.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，每一所述横杆(3)沿其长度方向开设有凹槽(31)，所述滑动部(51)与所述凹槽(31)匹配且滑动连接在所述凹槽(31)内，所述夹持部(52)用于夹持所述竖杆(2)。
3.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，每一所述竖杆(2)沿其长度方向开设有凹槽(31)，所述滑动部(51)与所述凹槽(31)匹配且用于滑动连接在所述凹槽(31)内，所述夹持部(52)用于夹持所述横杆(3)。
4.如权利要求2或3所述的镀膜基片架，其特征在于，所述凹槽(31)的横截面呈梯形。
5.如权利要求4所述的镀膜基片架，其特征在于，所述夹持部(52)的横截面呈梯形，且所述夹持部(52)的梯形横截面所在的平面垂直于所述滑动部(51)的梯形横截面所在的平面。
6.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，每一所述横杆(3)和竖杆(2)的两端均设置有U形螺孔(21)；所述镀膜基片架还包括与所述U形螺孔(21)配合且用于在所述内部框架(4)的尺寸确定时将所述横杆(3)和竖杆(2)固定在所述外部框架(1)上的紧固螺钉。
7.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，所述镀膜基片架包括两个所述竖杆(2)和两个所述横杆(3)。
8.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，所述镀膜基片架由高温无氧铜材料或不锈钢材料制成。
9.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的镀膜基片架。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信义光伏产业（安徽）控股有限公司，未经信义光伏产业（安徽）控股有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510759845.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
