[发明专利]基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置制备技术领域，特别是涉及一种基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统。

背景技术

在基板类产品，如玻璃、液晶面板、半导体晶圆等的生产过程中，基板通常被放置在用于生产设备操作的容器中，按照不同生产工序的要求，基板会在不同的生产设备之间进行转运，这种转运工作通常是由搬运系统来完成的。

在生产和运输过程中，因为设备振动或操作不当等原因，基板在容器中可能会出现不同程度的位置偏移，这样采用搬运系统将基板从容器内移出时，基板在搬运系统的末端执行器上的位置会发生偏移，如果不及时校正，会造成产品质量不良甚至基板或设备损坏等严重后果。

但是，现有技术中的基板搬运系统在搬运过程中，无法实现实时检测并校正，需要将基板拾取后才能判断其是否有偏移，若有偏移，需要调整末端执行器的移动量，重新抓取基板，校正过程较麻烦，大大降低了搬运效率和生产效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统，用以提高搬运效率和生产效率。

为达到上述目的，本发明提供了如下技术方案：

本发明提供了一种基板位置偏移检测及校正装置，包括：

设置于搬运系统的末端执行器上的第一非接触式传感器和第二非接触式传感器，当末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器用于实时采集待搬运基板的第一边缘的信息，其中：第一非接触式传感器和第二非接触式传感器与机器人本体之间的距离相等，所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间具有设定距离；

控制器，用于当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器停止运动，并判断所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器非同时采集到第一边缘的信息时，根据所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器分别检测到所述第一边缘后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间的设定距离，得到所述待搬运基板的第一边缘与所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值，并根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转。

本发明提供的基板位置偏移检测及校正装置，在搬运基板前就可以预先检测到基板是否有偏移，并可以在搬运过程中校正偏移量，具体的：当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器停止运动，并判断所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器非同时采集到第一边缘的信息时，根据所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器分别检测到所述第一边缘后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间的设定距离，得到所述待搬运基板的第一边缘与所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值，并根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转。

可见，本发明提供的基板位置偏移检测及校正装置，可以实时检测和校正基板的位置，提高基板的搬运效率和生产效率。

在一些可选的实施方式中，上述基板位置偏移检测及校正装置还包括：报警装置，

所述控制器用于当所述夹角值大于预先设定的角度参考值时，输出告警信号和/或控制所述搬运系统停止工作；

所述报警装置根据所述告警信号产生告警。

在一些可选的实施方式中，所述控制器还用于：

根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转后，控制所述末端执行器继续向待搬运基板移动，当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器同时检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器再次停止运动，并拾取所述待搬运基板，且控制所述机器人本体带动其上的待搬运基板绕其轴线旋转至初始角度。

在一些可选的实施方式中，所述控制器还用于：

当第一距离大于第二距离时，根据所述第一距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动；