[发明专利]一种硅片边缘抛光装置在审
| 申请号： | 201510761527.0 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN106670938A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王新;路一辰;李俊峰;潘紫龙;韩晨华;刘斌;李耀东 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 边缘 抛光 装置 | ||
【说明书】：
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