[发明专利]一种束流偏转跟踪检测和校正装置

权利要求书

1.一种束流偏转跟踪检测和校正装置，包括一个固定偏转真空盒、两个偏转磁铁、两个偏转线圈、一个柔性连接波纹管、一个槽型摆动框、一个偏转输运管、一个束流校正装置和一个束流位置检测装置，所述的固定偏转真空盒包括有一个弧形开口，其特征在于：所述的槽型摆动框与偏转磁铁安装架通过轴承联接，槽型摆动框与偏转磁铁安装架设置为转动副，所述的固定偏转真空盒放置在两个偏转磁铁之间，所述的两个偏转线圈分别套设在偏转磁铁外，固定偏转真空盒的弧形开口的下部与所述的柔性连接波纹管的一个小口端连接，柔性连接波纹管的大口端与槽型摆动框连接，所述的偏转输运管与槽型摆动框用螺钉固定为一体，所述的束流校正装置和束流位置检测装置分别设置在偏转输运管的周边，束流校正装置和束流位置检测装置沿偏转输运管的轴向间隔分布。

2.如权利要求1所述的束流偏转跟踪检测和校正装置，其特征在于：偏转输运管和槽型摆动框绕槽型摆动框旋转轴心摆动时，利用柔性连接波纹管的柔性变形特性实现摆动。

3.如权利要求1所述的束流偏转跟踪检测和校正装置，其特征在于：固定偏转真空盒、柔性连接波纹管和偏转输运管均设置为真空。

4.如权利要求1所述的束流偏转跟踪检测和校正装置，其特征在于：束流偏转的角度是根据偏转输运管摆动角度位置信号来控制偏转线圈的电流来达到，使偏转束流与偏转输运管摆动角度一致。

5.如权利要求1所述的束流偏转跟踪检测和校正装置，其特征在于：束流校正幅度是根据束流位置检测得到的误差值来确定。