[发明专利]一种晶圆减薄高温临时粘结剂及其制备方法

权利要求书

1.一种晶圆减薄高温临时粘结剂，其特征在于，按质量份计，由以下原料组成：溶剂65～85份、芳香族四羧酸二酐10～25份、二元胺1~10份、抗氧剂0.01～0.5份、流平剂0.01～0.5份。

2.根据权利要求1所述的临时粘结剂，其特征在于，所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜中的一种。

3.根据权利要求1所述的临时粘结剂，其特征在于，所述芳香族四羧酸二酐为均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-二苯酮四羧酸二酐、3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、双酚A型二醚二酐中的一种或两种混合。

4.根据权利要求1所述的临时粘结剂，其特征在于，所述二元胺为丙二胺、己二胺、间苯二胺、对苯二胺、2,4,6-三甲基-1,3-苯二胺、4,4-二氨基二苯醚、4,4'-二氨基二苯甲烷、4,4'-二氨基二苯砜、1,4-双（4-氨基苯氧基）苯、4,4'-双(4-氨基苯氧基)二苯砜中一种或两种混合。

5.根据权利要求1所述的临时粘结剂，其特征在于，所述抗氧剂为芳香胺和受阻酚中的一种；所述流平剂为聚醚改性硅氧烷、聚酯改性硅氧烷和烷基改性硅氧烷。

6.根据权利要求1所述的临时粘结剂，其特征在于，制备方法，包括：

按质量份计，加入65～85份溶剂、10～25份芳香族四羧酸二酐、1～10份二元胺，在氮气保护下室温搅拌12小时；然后加入5~20份二甲苯，180℃加热12小时；与上一步亚胺化反应生成的水共沸，除去水分和二甲苯，再加入0.01～0.5份抗氧剂、0.01～0.5份流平剂搅拌溶解完全即得到产品。