[发明专利]TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统有效
申请号: | 201510769372.5 | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN105242423B | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 徐海乐;李启明;伊文超;吴利峰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 袁江龙 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tft lcd 玻璃 检测 修复 方法 及其 系统 | ||
本发明提供了一种TFT‑LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统,其中该方法包括:在修复设备中输入产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复说明和修复程序;对彩膜玻璃基板进行检测,并将检测到存在缺陷的彩膜玻璃基板与修复设备中的产品的无缺陷信息进行对比,以得出缺陷的位置及面积信息;根据缺陷的位置及面积信息并结合修复说明和修复程序执行修复操作。本发明提供的彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统,通过修复设备可以自行对彩膜玻璃基板进行检测和修复,相较于传统的通过人工进行检测判定、研磨修复的方法来讲,大大降低了人力成本,同时还可以提高产品的质量和生产效率,保障产品的质量稳定性。
技术领域
本发明涉及TFT-LCD彩膜玻璃基板加工工艺的技术领域,具体是涉及一种TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统。
背景技术
目前在TFT-LCD的彩膜工厂中,会安排做完PS(Post Spacer,TFT-LCD panel内部支撑液晶盒后的隔垫物,彩膜的最后一道Photo工序)之后有黑缺陷的基板(PR胶残留或者存在异物)到Repair Line进行修复,而在PS工艺后的检测和修复工序则需要人工手动操作修复设备研磨修复黑缺陷,以及根据制定的不良判定标准人工对各类微观缺陷进行OK&NG的判定。
现有技术中对彩膜玻璃基板的检测和修复过程如下:
1、首先AOI(Automatic Optic Inspection的全称是自动光学检测)将检查到的缺陷信息(包括各缺陷的在玻璃基板的缺陷位置以及缺陷的大小)传输到Repair设备的软件系统;
2、每张玻璃基板进入Repair后,Repair将读取该基板对应的信息,反馈到对应的操作电脑界面;
3、根据反馈的信息,操作人员每人管理1~2台Repair设备,手动对黑缺陷逐一进行研磨,同时对研磨过后的黑缺陷以及白缺陷根据制定的缺陷判定标准进行人工判定。
现有技术存在的问题:
1、人工手动操作Repair设备研磨修复黑缺陷,以及缺陷的判定需要消耗大量的人力;
2、人为的操作研磨修复及判定过程存在风险性、滞后性以及准确性的问题;
3、过多的人员进入生产线,增加带入的灰尘等,不利于生产产品品质的保障。
发明内容
本发明实施例提供一种TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法及其系统,以解决现有技术中人工检测和修复存在的人力成本大以及效率及准确性低的技术问题。
为解决上述问题,本发明实施例提供了一种TFT-LCD彩膜玻璃基板的检测和修复方法,所述方法包括:
在修复设备中输入产品的无缺陷信息以及对应每种缺陷的修复说明和修复程序;
对彩膜玻璃基板进行检测,并将检测到存在缺陷的彩膜玻璃基板与所述修复设备中的产品的无缺陷信息进行对比,以得出缺陷的位置及面积信息;
根据所述缺陷的位置及面积信息并结合所述修复说明和修复程序执行修复操作。
根据本发明一优选实施例,所述产品的无缺陷信息包括彩膜玻璃基板的无缺陷隔垫物点位完整坐标体系及扫描图片。
根据本发明一优选实施例,所述对彩膜玻璃基板进行检测的步骤中的检测设备为自动光学检测仪,所述修复设备为自动研磨机。
根据本发明一优选实施例,所述方法在所述步骤根据所述缺陷的位置及面积信息并结合所述缺陷的修复说明和修复程序执行修复操作之后还包括:
对修复完成的彩膜玻璃基板进行再次判定,如果判定为合格,则结束判定及修复过程;如果判定结果为不合格,则重复执行修复操作的步骤。
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