[发明专利]惯性传感器的制造方法以及惯性传感器

权利要求书

1.一种惯性传感器的制造方法，其中，

所述惯性传感器包括被配置在由基体与盖体形成的空腔内的可动体，在所述基体上形成有配线的配线槽，该配线槽与所述空腔连通，该配线与所述可动体电连接，

所述惯性传感器的制造方法包括：

通过湿蚀刻而在所述盖体上形成未贯穿的第一开口部的工序；

对所述基体与所述盖体进行接合，从而将所述可动体收纳在所述空腔中的工序；

在对所述可动体进行收纳的工序之后，形成对所述配线槽进行密封的第一密封材料的工序；

在形成所述第一密封材料的工序之后，通过干蚀刻而使所述第一开口部贯穿，从而形成与所述空腔连通的、具有如下的第一部分和第二部分的贯穿孔的工序,其中，所述第一部分的开口面积从所述空腔侧趋向于所述空腔的相反侧而渐增，所述第二部分位于与所述第一部分相比靠所述空腔的相反侧的位置处，并与所述第一部分连通，且具有与所述第一部分的最大开口面积相比较大的面积；

形成对所述贯穿孔进行密封的第二密封材料的工序。

2.如权利要求1所述的惯性传感器的制造方法，其中，

形成所述第一密封材料的工序以通过气相生长法而形成薄膜的方式被实施，

所述第二密封材料仅被形成在所述贯穿孔的所述第一部分内。

3.如权利要求1或2所述的惯性传感器的制造方法，其中，

形成所述第二密封材料的工序以对焊锡球进行加热熔融的方式而被实施。

4.如权利要求1所述的惯性传感器的制造方法，其中，

包括在所述盖体上形成与所述空腔连通的未贯穿的第二开口部的工序，

所述第二开口部的开口面积与所述第一开口部的最小开口面积相比较小，

在形成所述贯穿孔的工序中，使所述第一开口部与所述第二开口部连通从而形成所述贯穿孔。

5.一种惯性传感器，包括：

基体；

盖体；

可动体，其被配置在由所述基体与所述盖体形成的空腔内；

第一密封材料，其对被设置在所述基体上并与所述空腔连通的配线槽进行密封；

配线，其被设置在所述配线槽内，并与所述可动体电连接；

第二密封材料，其对被设置在所述盖体上并与所述空腔连通的贯穿孔进行密封，

所述贯穿孔具有：

第一部分，其开口面积从所述空腔侧趋向于所述空腔的相反侧而渐增；

第二部分，其位于与所述第一部分相比靠所述空腔的相反侧的位置处，并与所述第一部分连通，且具有与所述第一部分的最大开口面积相比较大的面积，

在所述第一部分与所述第二部分的边界处，于所述贯穿孔的内表面上设置有高低差。

6.如权利要求5所述的惯性传感器，其中，

所述贯穿孔具有第三部分，所述第三部分位于与所述第一部分相比靠所述空腔侧的位置处，并与所述第一部分以及所述空腔连通，且具有与所述第一部分的最小开口面积相比较小的面积，

在所述第一部分与所述第三部分的边界处，于所述贯穿孔的内表面上设置有高低差，

所述第二密封材料仅被形成在所述贯穿孔的所述第一部分内。