[发明专利]可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器

权利要求书

1.一种可抑制激光漂移和表面倾斜的对称式激光位移传感器，它由发射镜组、激光二极管、外壳、处理电路、电缆、光电器件、反射镜、接收镜组、滤光片组成，其特征在于，所述的激光位移传感器具有两个接收镜组，将一个测量光斑形成两个成像，再通过两个反射镜投向同一个光电器件上，可以有效抑制激光指向性的漂移，同时可以消除被测目标表面倾斜的影响。

2.根据权利要求1所述的对称式激光位移传感器，其特征是，所述的两个接收镜组完全相同，对称布置于发射镜组的两侧，同时瞄准测量光斑，可以同步形成两个成像。

3.根据权利要求1所述的对称式激光位移传感器，其特征是，所述的两个反射镜也是对称布置于发射镜组的两侧，可将两个接收镜组的成像投向光电器件，形成两个对称的成像波形。

4.根据权利要求1所述的对称式激光位移传感器，其特征是，所述的光电器件置于激光二极管的后面，垂直于激光二极管和发射镜组的光轴，这样可以保证测量光斑经过两个接收镜组和两个反射镜之后在光电器件上的成像波形位置是完全对称的。

5.一种用于权利要求1-4任一项的数据处理方法，采用两个成像波形相对于光电器件中点的位置的平均值作为位移测量结果，而且可以消除激光指向性的漂移或被测目标表面倾斜产生的位置偏移量。