[发明专利]反应腔室

权利要求书

1.一种反应腔室，包括基座，所述基座包括用于承载托盘的承载面，所述托盘用于承载至少一个被加工工件，其特征在于，还包括工件检测装置，所述工件检测装置用于检测所述基座上是否放置有所述托盘，并发出有关是或者否的数字信号；

所述工件检测装置包括探针、压缩弹簧和检测开关，其中，

所述检测开关包括静触点和动触点，二者在相接触时发出有关是的数字信号，在相分离时发出有关否的数字信号；

在所述基座的承载面上设置有贯穿其厚度的第一通孔，所述探针位于所述第一通孔内，且与所述动触点连接；

所述压缩弹簧用于承载所述探针；

当所述基座上没有所述托盘时，所述压缩弹簧处于原始状态，所述探针的上端高于所述承载面，所述动触点位于与所述静触点相分离的位置处；

当所述基座上有所述托盘时，所述托盘利用自身重力向下压住所述探针，所述探针带动所述动触点下移至与所述静触点相接触的位置处，同时所述压缩弹簧被压缩。

2.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述静触点与直流电源连接，当所述静触点和动触点相接触时，二者所在电路通电；当所述静触点和动触点相分离时，二者所在电路断电。

3.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述工件检测装置设置在所述反应腔室的底部，且在所述反应腔室底部的腔室壁上设置有第二通孔，用以供所述探针伸入所述反应腔室内。

4.根据权利要求3所述的反应腔室，其特征在于，还包括中心轴、上法兰、下法兰和波纹管，其中，

所述中心轴竖直设置，且分别与所述探针的下端和所述下法兰连接；

所述上法兰套设在所述中心轴周围，且与所述反应腔室的底部密封连接；

所述下法兰由所述压缩弹簧承载，且与所述动触点连接；

所述波纹管套设在所述中心轴周围，且位于所述上法兰和下法兰之间，并且分别与二者密封连接。

5.根据权利要求4所述的反应腔室，其特征在于，所述下法兰与所述动触点采用可分离的方式接触连接。

6.根据权利要求5所述的反应腔室，其特征在于，在所述下法兰的底部设置有球面接触部，且对应地在所述动触点上竖直设置有接触杆，所述接触杆的上端面为平面；

所述球面接触部与所述接触杆的上端面相接触。

7.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述探针采用绝缘材料制作。

8.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述探针的上端面具有圆弧倒角，以实现与所述托盘平滑接触。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的反应腔室，其特征在于，还包括控制单元，用于读取由所述工件检测装置发出的所述数字信号，并根据该数字信号判断所述基座上是否放置有所述托盘。