[发明专利]一种全自动探针台图像定位系统

权利要求书

1.一种全自动探针台图像定位系统，包括具有相对位移关系的第一相机模块（9）和第二相机模块（4），以及接受分析第一相机模块和第二相机模块所发出的图像信息的计算机，其特征是所述的第二相机模块在XY平台（2）上做x-y方向直线运动，同时设有与第二相机模块做同步运动的标定块（5），相对XY平台处于固定位置的控针卡（6）；由第一相机模块完成拍摄晶圆（8）焊盘图像任务；由第二相机模块完成拍摄探针卡针尖图像任务；由标定块来确定第一相机模块与第二相机模块的位置关系。

2.根据权利要求1所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征在于所述的第一相机模块（9）包括第一高倍镜头（91）和第一低倍镜头（92）两种倍率，第一高倍镜头和第一低倍镜头可根据作业需要进行切换。

3.根据权利要求1所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征在于所述的第二相机模块（4）包括第二高倍镜头（41）和第二低倍镜头（42）两种倍率，第二高倍镜头和第二低倍镜头可根据所拍摄物体分辨率高低的需要进行切换。

4.根据权利要求1所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征在于所述的标定块（5）包括透光玻璃（52），并在透光玻璃中心刻有宽度≤0.2mm的十字光标（53）。

5.根据权利要求4所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征在于所述的标定块（5）与动力装置相连，在标定位与自由位之间运行。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征在于所述的XY平台（2）设置在基座（1）上，标定块（5）和第二相机模块（4）通过第二相机模块支架（3）与XY平台连接。

7.根据权利要求1所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征在于所述的XY平台（2）上还设有载片台（7），晶圆（8）通过真空吸附方式固定在载片台上方。

8.根据权利要求1或2或3或4或7所述的一种全自动探针台图像定位系统，其特征是在所述的控针卡（6）固定在基座（1）上，并位于标定块（5）的上方。