[发明专利]一种光刻胶组合物和形成光刻图案的方法在审
| 申请号： | 201510781719.8 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105301900A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;任鲁风;殷金龙 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
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| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 形成 图案 方法 | ||
1.一种光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物按重量比为聚醚改性的有机硅流平剂0.4-0.55份、溶剂20-23份、光活性物质2-3份、有机酸1-2份、树脂16-18份和颜料分散体20-21份。
2.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述聚醚改性的有机硅流平剂为ETA-706。
3.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述溶剂为乙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯和二甲基乙酰胺，所述乙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯和二甲基乙酰胺的质量比为（2-3）：（14-17）：（4-7）。
4.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光活性物质为重氮萘醌磺酸酯。
5.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述有机酸为柠檬酸。
6.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述树脂为2-羟基乙基丙烯酸甲酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯和甲基丙烯酸正丁酯。
7.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述颜料分散体为红色、蓝色、黄色或紫色。
8.一种形成光刻胶图案的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）准备一个光纤面板基板；
（2）在光纤面板基板的正面涂覆权利要求1-8任一项的光刻胶组合物，形成光刻胶组合物层；
（3）在光化辐射下图案化曝光该光刻胶组合物层；
（4）在光刻胶组合物层上施加显影剂甲基-2-羟基异丁酸酯和2-庚酮，将光刻胶组合物层上的未曝光区域用显影剂去除，形成光刻胶图案。
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