[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 201510781930.X | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105301904A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;任鲁风;殷金龙 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/022;G03F7/004 |
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| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
1.一种光刻胶组合物，其特征在于，所述组合物包括：聚醚改性的有机硅流平剂、溶剂、光活性物质、有机酸、树脂和颜料分散体。
2.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述组合物按重量比为聚醚改性的有机硅流平剂0.4-0.55份、溶剂20-23份、光活性物质2-3份、有机酸1-2份、树脂16-18份和颜料分散体20-21份。
3.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述聚醚改性的有机硅流平剂为ETA-706。
4.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述溶剂为乙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯和二甲基乙酰胺，所述乙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯和二甲基乙酰胺的重量比为（2-3）：（14-16）：（4-7）。
5.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光活性物质为重氮萘醌磺酸酯。
6.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述有机酸为柠檬酸。
7.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述树脂为2-羟基乙基丙烯酸甲酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯和甲基丙烯酸正丁酯。
8.如权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述颜料分散体为红色、蓝色、黄色或紫色。
9.如权利要求1-8所述的一种光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）取溶剂溶解光活性物质，搅拌均匀，得到光活性物质溶液；
（2）在光活性物质溶液中加入有机酸；
（3）将步骤（2）得到的混合液升温至45℃，加入聚醚改性的有机硅流平剂、树脂和颜料分散体，恒温混合均匀；
（4）升温至80℃，恒温搅拌两小时以除去溶剂，得到光刻胶组合物。
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