[发明专利]一种正性光刻胶组合物的制备方法在审
| 申请号： | 201510781931.4 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105301901A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;任鲁风;殷金龙 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）取溶剂溶解光活性物质，搅拌均匀，得到光活性物质溶液；
（2）光活性物质溶液升温至50-54℃，加入聚醚改性的有机硅流平剂和树脂，恒温混合均匀；
（3）升温至80-83℃，恒温搅拌两小时以除去溶剂，得到光刻胶组合物。
2.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述组合物按重量比为聚醚改性的有机硅流平剂0.4-0.55份、溶剂22-25份、光活性物质2-3份和树脂16-18份。
3.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述聚醚改性的有机硅流平剂为ETA-735。
4.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述溶剂为四氢呋喃、丙二醇甲醚醋酸酯和二甲基乙酰胺。
5.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述四氢呋喃、丙二醇甲醚醋酸酯和二甲基乙酰胺的重量比为（4-6）：（13-16）：（4-7）。
6.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述光活性物质为重氮萘醌磺酸酯。
7.如权利要求1所述的正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，所述树脂为2-羟基乙基丙烯酸甲酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯和甲基丙烯酸正丁酯。
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