[发明专利]用于微机械Z传感器的摆杆装置有效
| 申请号： | 201510783965.7 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105600736B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | A·朔伊尔勒;G-N-C·乌尔希里 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00;G01P1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 微机 传感器 装置 | ||
1.用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，具有：
-两个围绕扭转弹簧(10)支承的摆杆臂(20，21)，所述摆杆臂关于所述扭转弹簧(10)非对称地构造；其中，
-所述摆杆臂(20，21)在所述摆杆臂的底侧上具有第一穿孔(30)，所述第一穿孔(30)沿着整个底侧分布；其中，
-所述摆杆臂(20，21)至少之一具有至少一个开口(32)，其中，所述第一穿孔(30)的直径构造为限定地小于所述开口(32)的直径；并且，
-在所述摆杆臂(20，21)至少之一中构造空腔(50)，用于使所述第一穿孔(30)与所述至少一个开口(32)连接，
-所述空腔(50)沿着平行于所述底侧的设计尺寸的宽度比所述至少一个开口(32)的宽度更宽。
2.如权利要求1所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述第一穿孔(30)具有构造在所述摆杆装置(100)的x-y平面中的0.5μm×2μm的面，并且，所述开口(32)具有构造在所述摆杆装置(100)的x-y平面中的2μm×3μm的面。
3.如权利要求1或2所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述第一穿孔(30)在所述摆杆装置(100)的第三功能层(FP)中构成。
4.如权利要求1或2所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述至少一个开口(32)在所述摆杆装置(100)的第一功能层(EP)中构成。
5.如权利要求1或2所述的摆杆装置(100)，其特征在于，所述空腔(50)布置在具有第一功能层(EP)的一摆杆臂(20，21)中。
6.微机械Z传感器(200)，具有如权利要求1至5之一所述的摆杆装置(100)。
7.用于制造用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)的方法，具有如下步骤：
-构造两个非对称地构造的摆杆臂(20、21)；
-在所述摆杆臂(20、21)的第三功能层(FP)中构造第一穿孔(30)；
-在所述摆杆臂(20、21)至少之一的第一功能层(EP)中构造至少一个开口(32)；并且
-在所述摆杆臂(20、21)至少之一中构造至少一个空腔(50)，由此使所述第一穿孔(30)与所述至少一个开口(32)连接，
其中，所述摆杆装置(100)是如权利要求1至5之一所述的摆杆装置(100)。
8.如权利要求7所述的方法，其中，在具有第一功能层(EP)的摆杆臂(20，21)中实施所述空腔(50)的构造。
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