[发明专利]具有多个柱的电子束光刻工艺有效
| 申请号： | 201510784303.1 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106019821B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 王文娟;林世杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11409 北京德恒律治知识产权代理有限公司 | 代理人： | 章社杲;李伟<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 多个柱 电子束光刻 工艺 | ||
【说明书】：
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