[发明专利]磁控管的安装机构及磁控溅射设备

权利要求书

1.一种磁控管的安装机构，用于将传动轴竖直安装在绝缘腔的顶壁上，所述传动轴的下端延伸至所述绝缘腔内，在所述绝缘腔的底部设置有靶材，所述磁控管固定在所述传动轴的下端，且位于所述靶材上方，其特征在于，所述安装机构包括轴承组件、轴承底座、轴承固定座和压紧块，其中，

所述轴承组件用于支撑所述传动轴；

所述轴承底座用于固定所述轴承组件；

所述轴承固定座固定在所述绝缘腔的顶壁上，且套在所述轴承底座上，并且所述轴承固定座与所述轴承底座螺纹连接；通过调节所述轴承底座与所述轴承固定座在竖直方向上的相对旋合位置，来调整所述轴承底座相对于所述绝缘腔的顶壁的高度；

所述压紧块与所述轴承固定座螺纹连接，且位于所述轴承底座的上方，用以在完成对所述轴承底座与所述轴承固定座在竖直方向上的相对旋合位置的调节之后，压紧所述轴承底座。

2.根据权利要求1所述的磁控管的安装机构，其特征在于，在所述轴承底座的外周壁上形成有第一环形凸台，并且在所述第一环形凸台的外周壁上形成有第一外螺纹；

在所述轴承固定座的内周壁上形成有内螺纹，所述内螺纹和所述第一外螺纹螺纹相配合；

所述压紧块环绕在所述轴承底座和所述轴承固定座之间，并且在所述压紧块的外周壁上，且位于其下端形成有第二环形凸台，并且在所述第二环形凸台的外周壁上形成有第二外螺纹，所述内螺纹和所述第二外螺纹相配合。

3.根据权利要求2所述的磁控管的安装机构，其特征在于，在所述轴承固定座的内周壁上，且位于所述内螺纹的底部形成有第三环形凸台，所述第三环形凸台的内径小于所述第一环形凸台的外径，用以防止所述轴承底座下移，致使靶间距为零。

4.根据权利要求2所述的磁控管的安装机构，其特征在于，所述轴承固定座的顶端低于所述轴承底座的顶端，且在所述轴承底座的外周壁上，且位于所述轴承固定座上方的位置处设置有第一螺纹孔，用以安装用于手动驱动所述轴承底座旋转的第一把手。

5.根据权利要求4所述的磁控管的安装机构，其特征在于，所述第一螺纹孔为一个或多个，且多个所述第一螺纹孔沿所述轴承底座的外周壁对称分布。

6.根据权利要求4所述的磁控管的安装机构，其特征在于，所述压紧块的上端高于所述轴承固定座的顶端，且低于所述第一螺纹孔，并且在所述压紧块的外周壁上，且位于所述轴承固定座上方的位置处设置有第二螺纹孔，用以安装用于手动驱动所述压紧块旋转的第二把手。

7.根据权利要求6所述的磁控管的安装机构，其特征在于，所述第二螺纹孔为一个或多个，且多个所述第二螺纹孔沿所述轴承底座的外周壁对称分布。

8.根据权利要求1所述的磁控管的安装机构，其特征在于，分别对应地在所述轴承固定座和所述轴承底座上设置有读数盘和指针，其中，

所述读数盘沿所述轴承固定座的周向环绕设置，且标有靶间距的数值。

9.根据权利要求1所述的磁控管的安装机构，其特征在于，在所述轴承固定座的内周壁与所述轴承底座的外周壁之间设置有动密封件，用以实现二者之间的动密封。

10.根据权利要求1所述的磁控管的安装机构，其特征在于，在所述绝缘腔的顶壁上设置有贯穿其厚度的安装孔，所述轴承固定座位于所述安装孔内，且在所述轴承固定座的外周壁上还设置有安装法兰，所述安装法兰与所述绝缘腔的顶壁通过螺钉固定连接，且在二者之间设置有密封圈。

11.一种磁控溅射设备，包括反应腔、绝缘腔、磁控管、磁控管旋转机构和磁控管的安装机构，其中，所述绝缘腔设置在所述反应腔的顶部，且在所述绝缘腔的底部设置有靶材，所述靶材的下表面暴露在所述反应腔的内部环境中；所述磁控管旋转机构包括传动轴和驱动电机，所述传动轴通过所述磁控管的安装机构竖直安装在绝缘腔的顶壁上，且所述传动轴的下端延伸至所述绝缘腔内，所述磁控管固定在所述传动轴的下端；所述驱动电机用于驱动所述传动轴旋转，其特征在于，所述磁控管的安装机构采用权利要求1-10任意一项所述的磁控管的安装机构。