[发明专利]一种在环境透射电子显微镜中安装的气体电子衍射装置在审
| 申请号： | 201510786625.X | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105223215A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 邓昱;张诚平;孙敬方;董林;陈强;方江邻;高飞;汤常金;蔡宁生 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 卢亚丽 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环境 透射 电子显微镜 安装 气体 电子衍射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种在透射电子显微镜中安装的微气体束电子衍射装置，其特征是通过与电镜样品台兼容，用于在电子显微镜中原位探测气氛的电子衍射花样；它包括：(1)放置于透射电境外的气体罐及控制气体注入的快速响应针阀；(2)集成于电镜样品杆的气氛微束喷射管路；(3)集成于电镜样品杆端头的纳米压痕仪系统压痕仪配置气体喷头，从而完成喷射微气体束的移动；该装置通过环境透射电镜的样品台通道安装。
2.根据权利要求1所述的在透射电子显微镜中安装的微气体束电子衍射装置，其特征在于：所述纳米压痕仪系统能10皮米量级精度三维移动压头。
3.根据权利要求1所述的在透射电子显微镜中安装的微气体束电子衍射装置，其特征在于：所述的喷头是通过纳米加工技术方法采用碳化硅或钛合金制成。
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