[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，该激光加工装置具有：

脉冲激光振荡器，其以规定的重复频率振荡出脉冲激光光线；

主偏振光束分光器，其配设在该脉冲激光振荡器的激光光线振荡方向下游侧；

1/4波长板，其将穿过了该主偏振光束分光器的P偏振光的激光光线转换成圆偏振光；

光弹性调制元件，其将穿过了该1/4波长板的激光光线调制成P偏振光激光光线和S偏振光激光光线；

频率设定器，其设定该光弹性调制元件的调制频率；

辅偏振光束分光器，其对由该光弹性调制元件调制后的P偏振光激光光线和S偏振光激光光线进行分支；

第1逆行构件，其使相对于借助该辅偏振光束分光器而分支的P偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；

第2逆行构件，其使相对于借助该辅偏振光束分光器而分支的S偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；以及

聚光器，其配设于借助该第1逆行构件和该第2逆行构件而逆行的脉冲激光光线在穿过该1/4波长板从而被转换成S偏振光激光光线之后被该主偏振光束分光器反射后的路径中。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

在将由该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的规定的重复频率设为H赫兹的情况下，该频率设定器将提供给该光弹性调制元件的电力的频率设定为H/2赫兹，该光弹性调制元件将在最大振幅和最小振幅时由该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线，

所述最大振幅对应于表示脉冲激光光线的一个点的时间变化的振动曲线上的最高点，所述最小振幅对应于该振动曲线上的最低点。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该第1逆行构件包含能够进行角度调整的第1反射镜，该第2逆行构件包含能够进行角度调整的第2反射镜。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该第1逆行构件包含：

第1光弹性调制元件，其将借助该辅偏振光束分光器而分支的P偏振光的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线；

第1频率设定器，其设定该第1光弹性调制元件的调制频率；

第1偏振光束分光器，其对由该第1光弹性调制元件调制后的P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线进行分支；

第1反射镜，其使相对于借助该第1偏振光束分光器而分支的P偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；以及

第2反射镜，其使相对于借助该第1偏振光束分光器而分支的S偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行，

该第2逆行构件包含：

第2光弹性调制元件，其将借助该辅偏振光束分光器而分支的S偏振光的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线；

第2频率设定器，其设定该第2光弹性调制元件的调制频率；

第2偏振光束分光器，其对由该第2光弹性调制元件调制后的P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线进行分支；

第3反射镜，其使相对于借助该第2偏振光束分光器而分支的P偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；以及

第4反射镜，其使相对于借助该第2偏振光束分光器而分支的S偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，

构成该第1逆行构件的该第1频率设定器将提供给该第1光弹性调制元件的电力的频率设定为H/4赫兹，

该第1光弹性调制元件将在最大振幅和最小振幅时借助该辅偏振光束分光器而分支的P偏振光的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线，

构成该第2逆行构件的该第2频率设定器将提供给该第2光弹性调制元件的电力的频率设定为H/4赫兹，

该第2光弹性调制元件将在最大振幅和最小振幅时借助该辅偏振光束分光器而分支的S偏振光的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线，

所述最大振幅对应于表示脉冲激光光线的一个点的时间变化的振动曲线上的最高点，所述最小振幅对应于该振动曲线上的最低点。