[发明专利]器件制造系统有效
| 申请号： | 201510790429.X | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN105374724B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 原史朗;原市聪;石桥晃 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人产业技术综合研究所 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/02;G05B19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 器件 制造 系统 | ||
1.一种器件制造系统，其具有：能够移动的多个单位处理装置，其担任器件制造工艺中的规定的处理工艺且具有密闭型的工艺处理部；密闭型的搬运容器，其收纳晶片；密闭型的晶片进出前室，其安装在各个所述单位处理装置的相同位置，在所述工艺处理部与所述搬运容器之间交接所述晶片，
所述器件制造系统的特征在于，
所述单位处理装置分别具有相同的外形形状，并且所述晶片进出前室分别具有相同的晶片交接机构和外形形状，
所述晶片交接机构设置于所述晶片进出前室的上表面，且构成为通过对所述搬运容器的下部进行定位，从而使所述晶片能够从所述搬运容器的下方进出所述晶片进出前室。
2.根据权利要求1所述的器件制造系统，其特征在于，
所述搬运容器是收纳一张晶片的容器，
所述晶片的尺寸为制作极小单位的器件的晶片尺寸。
3.根据权利要求2所述的器件制造系统，其特征在于，
所述极小单位设为一个，
所述晶片尺寸设为直径0.5英寸。
4.根据权利要求1所述的器件制造系统，其特征在于，
在布局所述单位处理装置的地面上的规定的位置配置有对所述单位处理装置进行定位的定位构件，
在所述单位处理装置的下部设有向所述定位构件定位所述单位处理装置的引导部，
所述单位处理装置通过所述定位构件和所述引导部而定位固定在所述地面上的规定的位置。
5.根据权利要求1所述的器件制造系统，其特征在于，
在布局所述单位处理装置的地面上的规定的位置配置有杆，
在所述单位处理装置的规定位置分别设有与所述杆连接的连接器部，
所述单位处理装置定位固定在所述地面上的规定的位置，所述连接器部与所述杆连接。
6.根据权利要求1所述的器件制造系统，其特征在于，
基于器件的制造单位数和单位处理装置的个数来变更所述单位处理装置的布局方式。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
