[发明专利]用于真空泵的转子设施及其制造方法

说明书

本发明涉及一种用于真空泵，尤其是用于涡轮分子泵的转子设施，其具有转子轴和至少一个转子圆盘，该转子圆盘具有用于容纳转子轴的中心的容纳开口，其中，转子圆盘布置在转子轴上，并且在转子圆盘与转子轴之间构造出机械连接，其特征在于，借助热接合法实现了机械连接。

技术领域

本发明涉及转子设施及用于制造转子设施的方法。

背景技术

真空泵，例如涡轮分子泵使用在不同的技术领域中，以便提供用于相应的过程所需的真空。涡轮分子泵典型地包括转子轴、多个与转子轴连接的转子圆盘以及布置在转子圆盘之间的定子圆盘。在此，转子圆盘和定子圆盘分别具有桨叶，它们也被称为叶片。桨叶形成使主动泵送的(pumpaktiv)结构并且在转子设施相对于定子设施快速转动时形成期望的泵作用。

由现有技术公知的是，涡轮分子泵的转子设置由单个部件切削制成或由多个单独的转子圆盘接合在一起。在此，一体式的生产在时间上和生产上是非常耗费的。有多个圆盘组成的转子设施接合在一起相反在时间上和生产上耗费较少。在此，转子圆盘单独地制成，并且紧接着与轴接合在一起。接合可以通过将转子圆盘按压、热缩套装或卡夹到转子轴上。

此外，由WO 2010/052056A1公知的是，转子设施由多个转子元件构成。在此，每个转子设施都具有圆形的、柱体的凸肩。凸肩分别与转子圆盘连接。转子元件经由收缩程序彼此连接，并且在此也构成转子轴。

在具有带有按压的、热缩套装的或卡夹的转子圆盘的转子轴的转子设施中，转子盘必须以很高的接合力紧固在转子轴上，因为只有这样才能确保转子圆盘在运行时不会从转子轴上脱开，特别是在转子设施的高转速的情况下，如该转子设施在真空泵和尤其在涡轮分子泵的情况下可能出现的那样，由于很高的离心力使接合力变得更小。由于温度作用也可能使接合力减小。此外，在转子圆盘与转子轴之间的接合部位处的材料负荷在静止状态下已经非常高。附加地，在转子转速增大时，转子圆盘中的等效应力在离心力的影响下显著增大。

发明内容

因此，本发明的任务在于，提供一种用于真空泵，尤其用于涡轮分子泵的改善的转子设施，其能以在生产技术上简单的方式制造并且具有就接合位置和在该接合位置上出现的材料负荷方面改善的特性。

一种用于真空泵，尤其是用于涡轮分子泵的转子设施，所述转子设施具有转子轴和至少一个转子圆盘，所述转子圆盘具有用于容纳所述转子轴的中心的容纳开口，其中，所述转子圆盘布置在所述转子轴上，并且在所述转子圆盘与所述转子轴之间构造出机械连接，借助热接合法实现了机械连接。

一种用于真空泵，尤其是用于涡轮分子泵的转子设施，所述转子设施具有两个或更多转子圆盘，所述转子圆盘相对旋转轴线对齐并且沿所述旋转轴线的方向看顺次布置，其中，在相邻的转子圆盘之间构造出机械连接，所述机械连接借助热接合法直接在相邻的转子圆盘之间实现。

此外，本发明的任务在于，提供一种制造用于真空泵的改善的转子设施的方法。

一种制造用于真空泵，尤其是用于涡轮分子泵的转子设施的方法，在所述方法中，具有用于容纳转子轴的中心的容纳开口的转子圆盘布置在所述转子轴上，并且机械连接构造在所述转子圆盘与所述转子轴之间，借助热接合法实现了所述机械连接。

一种制造用于真空泵，尤其是用于涡轮分子泵的转子设施的方法，所述转子设施具有两个或更多转子圆盘，所述转子圆盘相对旋转轴线对齐并且沿所述旋转轴线的方向看顺次布置，其中，在相邻的转子圆盘之间构造出机械连接，所述机械连接借助热接合法直接在所述相邻的转子圆盘之间实现。

根据本发明的用于真空泵，尤其是用于涡轮分子泵的转子设施包括转子轴和至少一个转子圆盘，该转子圆盘具有用于容纳转子轴的中心的容纳开口，其中，转子圆盘布置在转子轴上，并且在转子圆盘与转子轴之间构造出机械连接，其中，借助热接合法实现了机械连接。