[发明专利]一种硅片切割液两级串联筛选回收槽

说明书

技术领域

本发明主要涉及硅片切割液回收利用装置。

背景技术

在硅片切割生产过程中，作为金属丝切割的负责耗材，硅片切割液并不可少，且价格较贵，使用量大。因此针对切割液的回收再利用以及使用维护的改进，能有效降低硅片加工的生产成本。

发明内容

发明目的：针对上述现有存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种硅片切割液两级串联筛选回收槽,能有效对切割液进行实时在线维护，以及对接近报废切割液进行聚乙二醇的回收再利用。

技术方案：为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案：一种硅片切割液两级串联筛选回收槽，包括槽体和初选装置，所述初选装置设在槽体的入口处，所述槽体内由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，且溢流槽内设有二级过滤装置，溢流槽的底部设有切割液出口；所述初选装置为截面是矩形的长条形，包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴，所述下壳体的底部设有粗液出口，所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮，上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口，且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头；所述溢流槽还设有二级过滤机构，所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。

作为优选，所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2～2.0um。

有益效果：与现有技术相比，本发明结构简单，能对切割液进行初次筛选，过滤较大颗粒，为后续切割液的回收提供支持，实现了切割液的在线实时维护。

附图说明

图1为本发明所述回收槽的结构示意图；

图2为本发明所述初选装置的结构示意图；

图3为本发明所述初选装置的截面结构示意图。

其中，其中，槽体1、沉降槽2、溢流槽3、切割液进口4、溢流隔板5、切割液出口6、上壳体7、下壳体8、转轴9、粗液出口10、橡胶滚轮11、杂质颗粒出口12、舌头13、微孔滤膜14、网架15。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

如图1～3所示，一种硅片切割液两级串联筛选回收槽，包括槽体和初选装置，所述初选装置设在槽体的入口处，所述槽体内由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽，且溢流槽内设有二级过滤装置，溢流槽的底部设有切割液出口；所述初选装置为截面是矩形的长条形，包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴，所述下壳体的底部设有粗液出口，所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮，上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口，且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头；所述溢流槽还设有二级过滤机构，所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。

作为优选，所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2～2.0um。

切割液经过收集盘收集后从切割液进口进入初选装置中，在转轴的带动下，含颗粒悬浮物的浆液由转轴的上方经过搭接的舌头从杂质颗粒出口排出，而较清洁的切割液则直接从底部的粗液出口流入沉降槽中，并经过沉降切割液中的悬浮沉降颗粒，然后随着液面上升从第一溢流隔板的顶部留下后进入两块隔板之间的间隙，并从第二溢流隔板的底部进入溢流槽，依次再经过第三溢流隔板并从其顶部流入溢流槽中，随后在负压状态下经过微孔滤膜进行二级过滤，最后送至后续处理槽中进行物料补充和回收。