[发明专利]循环过滤式的核孔膜蚀刻装置

权利要求书

1.一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置，其特征在于包括有蚀刻槽管道连接加热槽的输入口，管道设有水路开关；加热槽的输出通过循环过滤机连接蚀刻槽，在加热槽内设有加热器，加热器监测蚀刻液温度的热敏探头设置在蚀刻槽中；配液槽内设有搅拌器，配液槽通过水路开关和加液过滤机管道连接蚀刻槽；补液槽内设有监测加热槽中浓度的浓度探头，补液槽向蚀刻槽中自动补给蚀刻液。

2.如权利要求1所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于还包括有膜传动机构，包括有依次设有的放卷机、蚀刻槽、清洗机、烘干机和收卷机，在放卷机上设有核孔膜的放卷卷轴；在蚀刻槽上设有输送核孔膜的蚀刻压辊，在清洗机上设有输送核孔膜的清洗压辊；在烘干机上设有输送核孔膜的烘干压辊；在收卷机上设有核孔膜的收卷压辊。

3.如权利要求2所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的清洗机依次设有互不连通的酸碱中和槽、第一水洗槽、第二水洗槽和超声清洗槽；在槽中均设有清洗压辊。

4.如权利要求2所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于收放膜的宽度范围为200毫米至450毫米。

5.如权利要求1所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的蚀刻槽的材料为316L或304不锈钢，工作温度为室温至90℃。

6.如权利要求2所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的烘干机的热风烘干的温度为50℃-100℃。

7.如权利要求1所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的搅拌器为机械搅拌，螺旋桨片的材料为316L或304不锈钢。

8.如权利要求1所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的加热槽采用成组的加热器进行加热；加热槽通过管道与蚀刻槽形成回路，循环过滤机使得蚀刻液在蚀刻槽和加热槽中不断循环；蚀刻液流动的速度为每小时循环1-20次。

9.如权利要求1所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的加液过滤机和循环过滤机采用过滤精度0.5微米-70微米的滤膜，进行多级过滤；过滤机带能定期清洗过滤机中残渣的反冲洗头。

10.如权利要求1所述的循环过滤式核孔膜蚀刻装置，其特征在于所述的补液槽，设有浓度探头监测加热槽中蚀刻液的浓度，根据浓度探测的高低自动向加热槽补充去离子水或者高浓度的蚀刻液。