[发明专利]一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置在审
| 申请号： | 201510800893.2 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105289214A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 丁继业;陈刚刚;王雄;谢余才;安百俊;袁佳新 | 申请（专利权）人： | 宁夏银星能源光伏发电设备制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/14 | 分类号： | B01D53/14;F23G7/06;B01D47/00 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 752100 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氨气 硅烷 混合 废气 综合 处理 装置 | ||
1.一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：包括硅烷燃烧塔，该硅烷燃烧塔的进风口通过管道与PECVD真空泵出风口连通，该硅烷燃烧塔的出风口通过管道与氨气喷淋吸收塔进风口连通，该氨气喷淋吸收塔的出风口通过管道与风机连通。
2.如权利要求1所述的一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：其中硅烷燃烧塔还通过管道分别与液氮汽化器和压缩空气储气罐连通，并且在硅烷燃烧塔上与该液氮汽化器和压缩空气储气罐的接口处分别安装有流量计。
3.如权利要求1所述的一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：其中氨气喷淋吸收塔包括水箱，在该水箱内安装有pH计；其中该水箱底部通过排水管与废水管道连通，在该排水管上安装有常闭电磁阀，并且该常闭电磁阀与前述的pH计连接；其中该水箱顶部通过给水管与自来水管道连通，在该给水管上也安装有常闭电磁阀，并且该常闭电磁阀与前述的pH计连接；其中该水箱顶部还通过溢水管与废水管道连通。
4.如权利要求3所述的一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：其中在氨气喷淋吸收塔的水箱旁安装有水泵，该水泵进口接水箱而其出口接氨气喷淋吸收塔塔顶的喷嘴。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：其中在氨气喷淋吸收塔的中间安装有至少一层网格架，在该网格架上铺放有聚丙烯材质的圆球作为填充物。
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