[发明专利]气体传感器

权利要求书

1.一种干涉仪设备，其特征在于，包括:

具有第一反射率的第一面；

具有第二反射率的第二面；

空腔，该空腔在干涉仪内并被安排在第一面和第二面之间，所述第一面和第二面包括高折射率材料和低折射率材料的堆栈，所述第二面具有输入开口和输出开口，所述输入开口被配置为耦合来自外部环境的包含所涉物质的气体到空腔，所述输出开口被配置为允许干涉仪和空腔外部的环境之间的气体再循环,其中所述第二面的反射率小于所述第一面的反射率；

电磁源输入区域，被配置为接收电磁信号；和

电磁检测器输出区域，被配置为输出响应于所述空腔内物质而调制的电磁信号。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述第一面、第二面和空腔形成法布里-珀罗标准具。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述电磁源输入区域和检测器输出区域位于干涉仪的相对的两个面上。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述电磁源输入区域和检测器输出区域位于干涉仪的同一个面上。

5.如权利要求4所述的设备，其特征在于：

所述空腔的该同一个面的反射率低于相对面的反射率。

6.如权利要求1所述的设备，其特征在于，进一步地包括:

电磁源，被耦合以提供电磁信号到电磁源输入区域；和

电磁检测器，被耦合以接收来自电磁检测器输出区域的调制的电磁信号。

7.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述输入开口被配置为接收来自外界环境的以下至少一种：气体、蒸汽、液体、分子或者粒子。

8.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述电磁信号频率是在电磁波谱的红外部分之内。

9.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述干涉仪包括基于第一面和第二面对应的反射系数的光程。

10.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述第一面或第二面的至少一个包括基于该面内的一组介质膜的反射系数。

11.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述第一面反射电磁信号的第一部分到第二面，第二面反射电磁信号的第二部分到第一面。

12.如权利要求1所述的设备，其特征在于：

所述干涉仪被耦合到以下至少一个：在各实施例中，干涉仪是嵌入到以下任意设备内部的：智能手机、平板电脑、智能手表、可穿戴计算装置、汽车设备、烟道、室内空气质量监控器、温室、危险场所、漏气检测系统、填埋区监控装置、酒精呼吸分析仪、麻醉设备、分光镜设备、市民基础设施、建筑物或者家庭自动化建筑自动化应用设备(HABA)。

13.一种气体传感器，其特征在于，包括：

具有第一反射率的第一面；

具有第二反射率的第二面；空腔，该空腔在传感器内并被安排在第一面和第二面之间，所述第一面和第二面包括高折射率材料和低折射率材料的堆栈，所述第二面具有输入开口和输出开口，所述输入开口被配置为耦合来自外部环境的包含所涉物质的气体到空腔，所述输出开口被配置为允许干涉仪和空腔外部的环境之间的气体再循环，其中所述第二面的反射率小于所述第一面的反射率；

电磁源，被耦合以提供电磁信号到第一面和第二面中的至少一面；和

电磁检测器，被耦合以接收来自第一面和第二面中的至少一面的响应于空腔内物质而调制的电磁信号。