[发明专利]磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置及其抛光方法

权利要求书

1.一种磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置，其特征在于包括抛光盘公转机构和多磁极同步旋转驱动机构，抛光盘公转机构包括有底座（39）、传动轴电机（37）、传动轴（13）、转接盘（11）、偏心轴固定盘（3）、杯形抛光盘（1）、传动轴传动机构，多磁极同步旋转驱动机构包括有偏心主轴（43）、同步旋转驱动盘（8）、柔性偏心转动轴（19）、偏心套（20）、磁极（21）、偏心轴固定盘（3）、主轴电机（17）、主轴传动机构，其中传动轴电机（37）固定在底座（39）上,传动轴传动机构的主动传动件固定在传动轴电机（37）的输出轴上，传动轴传动机构的从动传动件与传动轴（13）连接，转接盘（11）同轴固定在传动轴（13）的上端面，偏心轴固定盘（3）同轴固定在转接盘（11）的上端面，杯形抛光盘（1）同轴固定在偏心轴固定盘（3）的上端面，多磁极同步旋转驱动机构中的主轴电机（17）固定在底座（39）上，主轴传动机构的主动传动件固定在主轴电机（17）的输出轴上，主轴传动机构的从动传动件与偏心主轴（43）连接，偏心主轴（43）装设在传动轴（13）所设的中空腔体内，同步旋转驱动盘（8）固定在传动轴（13）的上端，柔性偏心转动轴（19）安装于同步旋转驱动盘（8）的上端，偏心套（20）固定于偏心转动轴（19）上，磁极（21）固定于偏心套（20）内，且柔性偏心转动轴（19）装设在杯形抛光盘（1）所设的轴孔中。

2.根据权利要求1所述的磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置，其特征在于上述主轴传动机构包括有主轴主动带轮（40）、主轴传动带（42）、主轴从动带轮（45），其中主轴主动带轮（40）装设在主轴电机（17）的输出轴上，主轴从动带轮（45）装设在偏心主轴（43）上，主轴传动带（42）绕在主轴主动带轮（40）与主轴从动带轮（45）之间。

3.根据权利要求1所述的磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置，其特征在于上述传动轴传动机构包括有传动轴主动带轮（50）、传动轴从动带轮（47）及传动轴传动带（48），其中传动轴主动带轮（50）装设在传动轴（13）的输出轴上，传动轴从动带轮（47）装设在传动轴（13）上，传动轴传动带（48）绕在传动轴主动带轮（50）与传动轴从动带轮（47）之间。

4.根据权利要求1所述的磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置，其特征在于上述传动轴电机（37）通过第十固定螺钉（38）固定在底座（39）上，传动轴主动带轮（50）通过第二平键（49）固定在传动轴电机（37）上，轴承座（16）垂直安装在底座（39）的中央，一对传动轴轴承（33）安装在轴承座（16）内，轴承端盖（14）通过第五固定螺钉（15）安装在轴承座（16）的端面并压紧传动轴轴承（33）的外圈，内固定套（34）和外固定套（35）支撑分离传动轴承（33），传动轴（13）支承在传动轴轴承（33）上，转接盘（11）通过第四固定螺钉（12）同轴固定在传动轴（13）的上端面，偏心轴固定盘（3）通过第二固定螺钉（4）同轴固定在转接盘（11）的上端面，杯形抛光盘（1）通过第一固定螺钉（2）同轴固定在偏心轴固定盘（3）的上端面，传动轴从动带轮（47）通过第十二固定螺钉（46）固定在传动轴（13）的下端面；多磁极同步旋转驱动机构中的偏心主轴（43）通过一对主轴轴承（30）固定在传动轴（13）所设在中空腔体内，内套筒（31）和外套筒（32）定位主轴轴承（30）的内圈和外圈，偏心主轴端盖（28）通过第九固定螺钉（29）固定在传动轴（13）的上端并压紧主轴轴承（30）的外圈，驱动轴承（25）固定在偏心主轴（43）的偏心轴端，主轴端盖（24）通过第七固定螺钉（23）固定在偏心主轴（43）的偏心轴上端并压紧驱动轴承（25）的内圈，同步旋转驱动盘（8）通过驱动盘端盖（5）固定在驱动轴承（25）的外圈，向心推力轴承（6）安装于同步旋转驱动盘（8）的阵列孔，外隔套（7）分隔向心推力轴承（6）的外圈，柔性偏心转动轴（19）通过向心推力轴承（6）固定，轴端端盖（9）通过第三固定螺钉（10）固定在柔性偏心转动轴（19）的小轴下端，驱动盘端盖（5）通过第八固定螺钉（27）固定在同步旋转驱动盘（8）的上端并压紧向心推力轴承（6）的外圈，深沟球轴承（22）安装于柔性偏心转动轴（19）的上端大轴端，偏心套（20）固定于偏心转动轴（19）上端大轴端的偏心孔内，磁极（21）固定于偏心套（20）内，偏心轴固定盘（3）通过阵列孔安装有深沟球轴承（22），主轴带轮（45）通过第十一固定螺钉（44）固定在偏心主轴（43）的下端并压紧主轴轴承（30），主轴电机（17）通过第六固定螺钉（18）固定在底座（39），主轴主动带轮（40）通过第一平键（41）固定在主轴电机（17）上。