[发明专利]一种集成电路版图与平板显示版图中基于最短距离的间距检查结果分类方法

说明书

技术领域

一种集成电路版图与平板显示版图中基于最短距离的间距检查结果分类方法属于半导体集成电路设计自动化领域，主要涉及如何将间距检查结果按照违反间距规则严重程度排序，提高人工分类效率。

背景技术

间距检查（Dimensional Check）是电子设计自动化的一个重要组成部分，源于集成电路版图（Integrated Circuit，IC）设计流程，通常检查的是导线宽度（Width）、导线间距（Space）等项目，输出结果是违反间距规则的设计。平板显示（Flat Panel Display，FPD）版图的间距检查借鉴于集成电路版图。

二者存在类似的问题，即并非所有违规结果都要修改版图，但版图交付流片前必须迭代修改严重违反规则的设计，才能确保流片成功。目前，结果违规的严重程度主要依赖人工判断，将所有结果分为需要修改版图和不需要修改版图两类。

事实上，影响人工分类最重要的指标是间距检查结果的最短距离。该距离指的是，对于某个间距检查结果，其原始版图几何边段之间所有距离的最小值。最短距离反映了导线之间的最小距离或某条导线的最小宽度等。最短距离值越小，违反间距检查规则越严重，越容易发生短路或断路，导致流片生产失败。

在人工分类全部间距检查结果的过程中，最重要的步骤就是对间距检查最短距离的判断。每判断一个结果，就要将该结果反标到原始版图上，利用尺子工具测量结果的最短距离，效率很低，测量准确度也不高。同时，从结果的最短距离的角度看，所有间距检查的顺序是混杂的，最短距离长的结果和短的结果混在一起，交替出现，这也影响了人工分类速度。如果能够根据最短距离对全部结果进行排序，也就近似实现了按照违反间距规则严重程度排序，需要修改的版图的结果大都集中在一起，不需要修改版图的结果也大都集中在一起，可以显著提高人工分类速度。

目前，在没有最短距离的辅助下，对违规结果进行人工分类，工作效率很低。特别是每次修改版图后迭代执行间距检查时，又需要重新筛选结果，严重拖延了版图设计流程。

通过本文发明内容及具体实施方式可知，利用最短距离对间距检查结果辅助分类，方法简单易行，不改变现有版图设计流程，极易推广普及。随着集成电路与平板显示电路规模日趋增大，版图布局日益复杂，利用最短距离对间距检查结果辅助分类必将成为一种趋势，保障版图设计流程高效运转。

发明内容

本发明针对半导体集成电路设计自动化领域，对集成电路版图与平板显示版图执行间距检查后，人工手动分类检查结果工作效率低，拖延了整个版图设计流程的实际问题，提出了一种集成电路版图与平板显示版图中基于最短距离的间距检查结果分类方法。

本发明的创新之处在于，对集成电路版图与平板显示版图执行间距检查时，创造性的将间距检查结果的最短距离同时计算出来，并附加到对应的间距检查结果上。这一做法为加速后续的人工检图流程提供了诸多可能：既可以将最短距离线段与间距检查结果同时反标到原始版图，避免人工测量最短距离的繁琐步骤，又可以基于最短距离值对全部间距检查结果进行排序，近似实现了按照违反间距规则严重程度的结果排序，加速人工分类筛选。

本发明的主要技术方案包括以下三个方面：

第一，间距检查结果最短距离的定义。

（1）对于某个间距检查结果，最短距离定义为其原始版图几何边段之间所有距离的最小值；为了反标到原始版图便于人工观察，最短距离表示为线段的形式，线段的起始端点来源于原始版图的一个边段，线段的终止端点来源于原始版图的另一个边段；

（2）线段起止端点的位置仅为了便于人工观察，无严格规定，当某个间距检查结果存在多处最短距离，例如原始版图两条几何边段相互平行时，任选一处最短距离线段即可；

（3）不同间距检查结果的最短距离相互比较时，仅比较最短距离线段长度，即最短距离值的大小。

第二，间距检查结果最短距离的计算方法。

（1）将原始版图的几何边两两匹配，分别计算间距检查结果；

（2）计算步骤（1）的间距检查结果时，同时计算出该结果原始版图几何边段之间所有距离的最小值；此处使用的是原始版图的几何边段，而不是整条几何边，因为间距检查结果可能只涉及原始几何边的片段；最短距离以线段的形式附加到间距检查结果上；

（3）当若干间距检查结果存在公共面积区域，需要进行结果合并时，将此若干结果中最短距离值最小的那条最短距离线段，作为合并后间距检查结果的最短距离线段；当存在多条最短距离线段相等且同为最小值时，任选其中之一即可。