[发明专利]真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室

权利要求书

1.一种真空电弧蒸发源，包括环形的磁场源(2)和阴极体(3)，该阴极体(3)带有作为阴极(32)的蒸发材料(31)，用于在所述阴极(32)的蒸发表面(33)上产生电弧放电，其中，所述阴极体(3)沿轴向方向在第一轴向方向上由阴极底部(34)所限定且在第二轴向方向上由所述蒸发表面(33)所限定，并且，所述环形的磁场源(2)平行或反平行于所述蒸发表面(33)的面法线(300)地极化且同心于所述蒸发表面(33)的面法线(300)地布置，其中，在背离所述蒸发表面(33)的一侧以可预定的第二距离(A2)在所述阴极底部(34)前布置有磁场增强环(4)，其特征在于，所述磁场增强环(4)的内直径(DI)为所述阴极(32)的直径的3%，并且所述磁场增强环包括多个基本上平行于面法线而指向的永磁体，其中在背离所述蒸发表面(33)的一侧以可预定的第三距离(A3)在所述阴极底部(34)前布置有至少一个磁修正环(5)，其中所述磁修正环(5)平行或反平行于所述面法线(300)地极化。

2.根据权利要求1所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场源(2)如此地同心于所述蒸发表面(33)的面法线(300)地布置，即，使得所述蒸发表面(33)位于所述磁场源(2)的北极与南极之间。

3.根据权利要求1或2所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场增强环(4)的宽度(B)为所述阴极(32)的直径的2%。

4.根据权利要求1或2所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场增强环(4)的宽度(B)直达所述阴极(32)的直径的5%。

5.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁修正环(5)同心于所述面法线(300)地布置。

6.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场增强环(4)或者所述磁修正环(5)非同心于所述面法线(300)地指向，或者，所述磁场增强环(4)或者所述磁修正环(5)具有非圆形的横截面。

7.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述环形的磁场源(2)或者所述磁修正环(5)包括多个平行于所述面法线(300)而指向的永磁体(20，40，50)。

8.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述环形的磁场源(2)的磁场强度或者所述磁场增强环(4)的磁场强度或者所述磁修正环(5)的磁场强度可被改变或者可被控制。

9.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述环形的磁场源(2)和/或所述磁场增强环(4)和/或所述磁修正环(5)关于所述面法线(300)同样地极化。

10.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述环形的磁场源(2)或者所述磁场增强环(4)或者所述磁修正环(5)关于所述面法线(300)相反地极化。

11.根据权利要求4所述的真空电弧蒸发源，其中，所述环形的磁场源(2)或者所述磁场增强环(4)或者所述磁修正环(5)包括高温磁体。

12.根据权利要求1或2所述的真空电弧蒸发源，其中，所述环形的磁场源(2)布置在支撑块(7)处，并且，为了限制至所述阴极(32)的蒸发表面(33)上的电弧放电而在所述支撑块(7)与所述阴极(32)之间设置有BN绝缘体(8)。

13.根据权利要求12所述的真空电弧蒸发源，其中，所述支撑块(7)包括主阳极(9)以用于所述电弧放电的点燃及维持，和/或其中所述主阳极(9)相对于所述支撑块(7)电绝缘。

14.根据权利要求12所述的真空电弧蒸发源，其中，所述BN绝缘体(8)与所述阴极(32)处于触碰式接触中以用于所述电弧放电的点燃及维持。

15.根据权利要求1或2所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场增强环(4)的内直径(DI)达到所述阴极(32)的直径的10%。

16.根据权利要求1或2所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场增强环(4)的内直径(DI)达到所述阴极(32)的直径的15%。

17.根据权利要求1或2所述的真空电弧蒸发源，其中，所述磁场增强环(4)的内直径(DI)达到所述阴极(32)的直径的50%。