[发明专利]一种抗硫化片式厚膜电阻的制作方法在审
申请号: | 201510806512.1 | 申请日: | 2015-11-21 |
公开(公告)号: | CN105336461A | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
发明(设计)人: | 李福喜;黄明怀;徐建建;陈立俊 | 申请(专利权)人: | 贝迪斯电子有限公司 |
主分类号: | H01C17/00 | 分类号: | H01C17/00;H01C17/28 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 倪波 |
地址: | 233000 安徽省蚌*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硫化 片式厚膜 电阻 制作方法 | ||
1.一种抗硫化片式厚膜电阻的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在陶瓷基片的正面印刷电阻层并烧结,(2)正面掩膜后溅射纯镍正电极,(3)水洗去膜,(4)背面掩膜后溅射纯镍背电极,(5)水洗去膜,(6)镭射,(7)印刷包封层,(8)裂条,(9)溅射纯镍侧电极,(10)碎片,(11)电镀锡层。
2.根据权利要求1所述的一种抗硫化片式厚膜电阻的制作方法,其特征在于,所述溅射电极的工艺参数如下:真空度为5.0~6.0×10-5托时,电流设置为0.85A,溅射时间为30分钟,正、背电极纯镍的厚度为2-4μm。
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