[发明专利]一种抗硫化片式厚膜电阻的制作方法在审

专利信息
申请号: 201510806512.1 申请日: 2015-11-21
公开(公告)号: CN105336461A 公开(公告)日: 2016-02-17
发明(设计)人: 李福喜;黄明怀;徐建建;陈立俊 申请(专利权)人: 贝迪斯电子有限公司
主分类号: H01C17/00 分类号: H01C17/00;H01C17/28
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 倪波
地址: 233000 安徽省蚌*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 硫化 片式厚膜 电阻 制作方法
【权利要求书】:

1.一种抗硫化片式厚膜电阻的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在陶瓷基片的正面印刷电阻层并烧结,(2)正面掩膜后溅射纯镍正电极,(3)水洗去膜,(4)背面掩膜后溅射纯镍背电极,(5)水洗去膜,(6)镭射,(7)印刷包封层,(8)裂条,(9)溅射纯镍侧电极,(10)碎片,(11)电镀锡层。

2.根据权利要求1所述的一种抗硫化片式厚膜电阻的制作方法,其特征在于,所述溅射电极的工艺参数如下:真空度为5.0~6.0×10-5托时,电流设置为0.85A,溅射时间为30分钟,正、背电极纯镍的厚度为2-4μm。

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