[发明专利]一种用于标定多个相机平行性的装置及方法

说明书

本发明提供一种用于标定多个相机平行性的装置及方法，包括两自由度的运动平台以及布置在该运动平台上方的第一相机、第二相机和第三相机，所述运动平台上设置有吸盘垫和标定标记，所述标定标记包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一、标定点二和标定点三，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低，通过三个高度不一致的标定标记，在测量相机位置关系的同时，增加了多个相机平行性标定功能，有效的解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题。

技术领域

本发明涉及激光直写曝光技术领域，具体涉及一种用于标定多个相机平行性的装置及方法，是激光直写曝光机的组成部分。

背景技术

多个相机平行性标定是半导体直写曝光设备性能调试的重要组成部分，良好的多个相机平行性可以保证不同板厚的PCB板对准结果的准确性。

目前，现有半导体直写曝光机只具有特定板厚多个相机位置关系标定功能，不具有多个相机平行性标定功能，无法满足不同板厚PCB板对准结果准确性的要求。

发明内容

本发明提供一种用于标定多个相机平行性的装置，通过三个高度不一致的标定标记，在测量多个相机位置关系的同时，增加了标定多个相机平行性的功能，有效解决了不同板厚的PCB板对准结果不一致的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种用于标定多个相机平行性的装置，包括两自由度的运动平台以及布置在该运动平台上方的第一相机、第二相机和第三相机，所述运动平台上设置有吸盘垫和标定标记，所述标定标记包括平行布置在运动平台同侧边的标定点一、标定点二和标定点三，该标定点一、标定点二和标定点三的高度依次升高或降低。

优选地，所述标定点一、标定点二和标定点三均位于吸盘垫外侧，其中标定点一的高度与所述运动平台的高度一致，可以便于测量。

优选地，所述标定点一包括印有标记的覆铜板以及设置在该覆铜板上的压片，所述标定点二和标定点三均包括印有标记的覆铜板、设置在该覆铜板上的压片以及设置在该覆铜板下的垫片，通过设置不同高度的垫片来区分三个标定点，标定点一也可以通过增加垫片来改变高度，形成高度依次升高或降低的三个标定点。

本发明还提供一种采用上述装置标定多个相机平行性的方法，包括如下步骤：

1)通过第一相机采集标定点一的位置坐标(x_1-1,y_1-1)，通过第二相机采集标定点一的位置坐标(x_2-1,y_2-1)，以第一相机作为基准相机，计算第二相机相对于第一相机在X方向的相机位置关系Δx_12-1＝x_2-1-x_1-1，计算第二相机相对于第一相机在Y方向的相机位置关系Δy_12-1＝y_2-1-y_1-1；

2)通过第一相机采集标定点二的位置坐标(x_1-2,y_1-2)，通过第二相机采集标定点二的位置坐标(x_2-2,y_2-2)，以第一相机作为基准相机，计算第二相机相对于第一相机在X方向的相机位置关系Δx_12-2＝x_2-2-x_1-2，计算第二相机相对于第一相机在Y方向的相机位置关系Δy_12-2＝y_2-2-y_1-2；