[发明专利]无甲醛无电极金属镀敷组合物和方法有效
申请号: | 201510809868.0 | 申请日: | 2015-11-20 |
公开(公告)号: | CN105624653B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | W·吴;C·P·L·李;Z·梁 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C18/31 | 分类号: | C23C18/31;C23C18/40 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 甲醛 电极 金属 组合 方法 | ||
1.一种无电极金属镀敷组合物,其包含一或多种金属离子源、一种或多种络合剂、一或多种乙醛酸源、其盐或混合物和三异丙醇胺;且所述三异丙醇胺与乙醛酸或其盐的摩尔比为0.05:1到15:1,其中,所述组合物为无甲醛的,且不含乙二胺四乙酸和其盐;所述络合剂包括乙二胺-N,N'-二丁二酸(EDDS)和其盐、罗谢尔盐、酒石酸钾、柠檬酸和其盐、乙醇二胺、亚氨基二乙酸和其盐、焦磷酸和其盐、水杨酸和其盐、羟基亚乙基二膦酸和其盐、木糖醇和D-山梨醇。
2.根据权利要求1所述的无电极金属镀敷组合物,其中所述一或多种乙醛酸源选自非解离乙醛酸、二羟基乙酸、二卤乙酸和乙醛酸的亚硫酸氢盐加合物。
3.根据权利要求1所述的无电极金属镀敷组合物,其中所述乙醛酸的盐选自乙醛酸的碱金属盐和铵盐。
4.根据权利要求1所述的无电极金属镀敷组合物,其中金属离子选自铜离子、锡离子、镍离子、银离子、金离子和其混合物。
5.根据权利要求1所述的无电极金属镀敷组合物,其进一步包含选自促进剂、均匀性增强剂、稳定剂、晶粒细化剂、额外还原剂、pH调节剂、抗氧化剂和表面活性剂的一种或多种添加剂。
6.根据权利要求1所述的无电极金属镀敷组合物,其中,所述三异丙醇胺与乙醛酸或其盐的摩尔比为0.2:1到10:1。
7.根据权利要求6所述的无电极金属镀敷组合物,其中,所述三异丙醇胺与乙醛酸或其盐的摩尔比为0.4:1到10:1。
8.一种无电极金属镀敷的方法,其包含:
a)提供衬底;
b)涂覆根据权利要求1所述的组合物到所述衬底;和
c)在所述衬底上无电极镀敷金属。
9.根据权利要求8所述无电极金属镀敷的方法,其中所述衬底包含多个通孔且进一步包含:
d)对所述通孔除胶渣;和
e)在所述通孔的壁上镀敷金属。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理