[发明专利]真空阀

说明书

本发明提供真空阀，所述真空阀在阀片使开口开始打开的期间，能够使阀片的形状不发生变化地使打开面积相对于阀片的打开角度缓慢地变化。真空阀(1)中，阀开口(45)的边缘的一部分为向外侧凸出的楔形状的楔缘部(D1)。楔缘部(D1)设置于在使阀片(8)移动而使阀开口(45)打开时，阀片(8)使阀开口(45)开始打开的区域。

技术领域

本发明涉及一种真空阀。

背景技术

在将涡轮(turbo)分子泵等真空泵安装于真空处理装置的真空腔室(chamber)的情况下，一般来说插入真空阀。

有的真空阀具备开口部及阀片(valve plate)。此种真空阀中，有如下情况：使阀片的开度变化，使开口部不与阀片相向地打开的区域(打开区域)的面积(打开面积)变化，由此使真空阀的流导(conductance)变化，而用于真空腔室内的压力控制。

真空阀中，开口部的剖面形状一般来说呈圆形，而且，此种真空阀的阀片的边缘部的形状一般来说呈圆弧状。在具有此种形状的开口部与阀片的组合中，尤其会产生在阀片开始打开时相对于阀片的开度的打开面积的变化大的问题。

专利文献1中公开了一种具有使缘端部的一部分向内侧偏移(offset)或向外侧突出的轮廓的阀片，由此改善了流量控制性。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平9-210222号公报

[发明所要解决的问题]

然而，专利文献1记载的发明中，为了设置该轮廓，而需要增大其他缘端部的外周方向的厚度，结果导致阀片大型化。阀片的大型化会导致重量增加，而成为阀片的高速动作的弊端。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的真空阀存在的缺陷，而提供一种新型结构的真空阀，所要解决的技术问题是使其在阀片使开口开始打开的期间，能够使阀片的形状不发生变化地使打开面积相对于阀片的开度缓慢地变化，从而更加适于实用。

[解决问题的技术手段]

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明的优选形态的真空阀包括阀开口及将阀开口开闭的阀片，所述真空阀的特征在于：阀开口的边缘的一部分为向外侧凸出的楔形状的楔缘部，楔缘部设置于如下的区域，即，在使阀片移动而使阀开口打开时，阀片使阀开口开始打开的区域。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的真空阀，所述楔缘部的楔的顶点位于所述阀片的边缘首先与所述阀开口的边缘相接的位置。

前述的真空阀，形成着所述楔缘部的构件能够装卸地设置于所述阀开口。

[发明的效果]

借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点：根据本发明，在阀片使开口开始打开的期间，能够使阀片的形状不发生变化地使打开面积相对于阀片的开度缓慢地变化。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的真空阀的立体图。

图2是表示密封体的动作的图。

图3是阀本体的概略剖面图，且是表示打开区域的图。

图4是表示阀开口的形状的图。

图5是表示阀开口的楔缘部的形状设定方法的图(其一)。

图6是表示阀开口的楔缘部的形状设定方法的图(其二)。

图7是表示阀开口的楔缘部的形状设定方法的图(其三)。