[发明专利]一种新型二极管半导体专用清洗液在审
申请号: | 201510817767.8 | 申请日: | 2015-11-24 |
公开(公告)号: | CN105385518A | 公开(公告)日: | 2016-03-09 |
发明(设计)人: | 黄丽凤 | 申请(专利权)人: | 如皋市大昌电子有限公司 |
主分类号: | C11D10/04 | 分类号: | C11D10/04;C11D1/835;C11D3/37;C11D3/60 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 二极管 半导体 专用 清洗 | ||
1.一种新型二极管半导体专用清洗液,其特征在于:包括以下重量份的组分:
季铵氢氧化物2~4份;
聚丙烯酸类缓蚀液4~14份;
烷基二醇芳基醚6~8份;
表面活性剂2~6份;
烷基苄基二甲基氯化铵9~11份;
增效剂9~11份;
乙醇9~11份;
去离子水37~57份。
2.根据权利要求1所述的新型二极管半导体专用清洗液,其特征在于:所述聚丙烯酸类缓蚀液为选自丙烯酸聚合物及其共聚物、甲基丙烯酸聚合物及其共聚物、丙烯酸聚合物的醇胺盐以及甲基丙烯酸聚合物的醇胺盐中的一种。
3.根据权利要求1所述的新型二极管半导体专用清洗液,其特征在于:所述表面活性剂为醇醚和酚醚表面活性剂的混合物,所述醇醚与酚醚的质量比为1~2:1~4。
4.根据权利要求1所述的新型二极管半导体专用清洗液,其特征在于:所述增效剂为含有CU2+的混合液,所述混合液为胺皂和酰胺的混合物,其中胺皂和酰胺的混合比例为2~3:7~8。
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