[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：

脉冲激光振荡器，其以规定的重复频率振荡出脉冲激光光线；

偏振光束分光器，其配设在该脉冲激光振荡器的激光光线振荡方向下游侧；

1/4波长板，其将穿过了该偏振光束分光器的P偏振光的脉冲激光光线转换成圆偏振光；

谐振扫描器，其将穿过了该1/4波长板的脉冲激光光线分配到第1路径和第2路径；

频率设定器，其设定该谐振扫描器的分配频率；

第1逆行构件，其配设于该第1路径，使相对于借助该谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；

第2逆行构件，其配设于该第2路径，使相对于借助该谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；以及

聚光器，其配设于借助该第1逆行构件和该第2逆行构件而逆行的脉冲激光光线在穿过该1/4波长板从而被转换成S偏振光的脉冲激光光线之后被该偏振光束分光器引导的路径中。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

在将由该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的规定的重复频率设为H赫兹的情况下，该频率设定器将提供给该谐振扫描器的电力的频率设定为H/2赫兹，该谐振扫描器将在最大振幅和最小振幅时由该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线分配到该第1路径和该第2路径，

所述最大振幅对应于表示脉冲激光光线的一个点的时间变化的振动曲线上的最高点，所述最小振幅对应于该振动曲线上的最低点。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该第1逆行构件包含能够进行角度调整的第1反射镜，该第2逆行构件包含能够进行角度调整的第2反射镜。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该第1逆行构件包含：

第1谐振扫描器，其将借助该谐振扫描器而分配到该第1路径的脉冲激光光线分配到第3路径和第4路径；

第1频率设定器，其设定该第1谐振扫描器的分配频率；

能够进行角度调整的第1反射镜，其配设于该第3路径，以使相对于借助该第1谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行的方式进行反射；以及

能够进行角度调整的第2反射镜，其配设于该第4路径，以使相对于借助该第1谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行的方式进行反射，

该第2逆行构件包含：

第2谐振扫描器，其将借助该谐振扫描器而分配到该第2路径的脉冲激光光线分配到第5路径和第6路径；

第2频率设定器，其设定该第2谐振扫描器的分配频率；

能够进行角度调整的第3反射镜，其配设于该第5路径，以使相对于借助该第2谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行的方式进行反射；以及

能够进行角度调整的第4反射镜，其配设于该第6路径，以使相对于借助该第2谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行的方式进行反射。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，

构成该第1逆行构件的第1频率设定器将提供给该第1谐振扫描器的电力的频率设定为H/4赫兹，

该第1谐振扫描器将在最大振幅和最小振幅时借助该谐振扫描器而分配的脉冲激光光线分配到该第3路径和该第4路径，

构成该第2逆行构件的第2频率设定器将提供给该第2谐振扫描器的电力的频率设定为H/4赫兹，

该第2谐振扫描器将在最大振幅和最小振幅时借助该谐振扫描器而分配的脉冲激光光线分配到该第5路径和该第6路径，

所述最大振幅对应于表示脉冲激光光线的一个点的时间变化的振动曲线上的最高点，所述最小振幅对应于该振动曲线上的最低点。