[发明专利]DLC自清洁卫生洁具

权利要求书

1.具有自清洁功能的DLC自清洁卫生洁具(1)，其独有的与现有技术不同的技术特征是DLC自清洁卫生洁具(1)由卫生洁具(4)、溅射在卫生洁具(4)表面的导电膜(3)、及采用真空等离子体化学气相沉积设备在导电膜(3)表面沉积的类金刚石薄膜(2)构成。

2.根据权利要求1所述的导电膜(3)，其特征是采用磁控溅射技术在普通卫生洁具(4)表面形成厚度约0.5微米的导电膜(3)，既是等离子体电场的电极(3)又是气相沉积类金刚石薄膜的衬底(3)。

3.根据权利要求1所述的类金刚石薄膜(2)，其特征是采用由真空室(6)、真空泵(7)、含碳气体(8)、高频偏压电源(9)及位于真空室(6)内的模具电极(5)与卫生洁具(4)表面的导电膜(3)构成的等离子电场共同构成的真空等离子体化学气相沉积设备，以卫生洁具(4)表面的导电膜(3)为等离子体电场的电极(3)和沉积类金刚石薄膜(2)的衬底(3)，在卫生洁具(4)表面的导电膜(3)表面沉积厚度约0.2微米的类金刚石薄膜(2)，使普通卫生洁具(4)成为具有自清洁功能的卫生洁具(1)。

4.根据权利要求1所述的卫生洁具(4)，其特征是卫生洁具(4)由陶瓷、塑料、金属、玻璃材料制成。

5.根据权利要求1所述的真空等离子体化学气相沉积设备，其特征是将高频偏压电源(9)的负极连接卫生洁具(4)表层的导电膜(3)，将高频偏压电源(9)的正极与模具电极(5)连接，构成用于气相化学沉积类金刚石薄膜(2)反应的等离子体电场。