[发明专利]图案化电极的制作方法、液晶显示面板及其制作方法在审
申请号: | 201510818445.5 | 申请日: | 2015-11-20 |
公开(公告)号: | CN105259715A | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 李泳锐;王海军;胡韬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/1333 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图案 电极 制作方法 液晶显示 面板 及其 | ||
1.一种图案化电极的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液,将石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照一定比例进行混合,制得石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液;
步骤2、提供光刻胶,将石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液与光刻胶按照一定比例进行混合、搅拌后,制成具有导电能力的石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶;
步骤3、提供一基板,于所述基板上涂敷步骤2中制得的石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶,再利用预定形状的掩膜板对涂敷于基板上的石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶进行曝光,随后利用显影液进行显影,烘烤即可制得图案化电极。
2.如权利要求1所述的图案化电极的制作方法,其特征在于,所述步骤1中,所述石墨烯水溶液中石墨烯的质量百分比为1wt%-99wt%,所述PEDOT:PSS溶液中PEDOT:PSS的质量百分比为1wt%-99wt%;所述石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照1:5-1:100的质量比进行混合。
3.如权利要求2所述的图案化电极的制作方法,其特征在于,所述步骤2中,所述石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液与光刻胶按照1:1-1:50的质量比进行混合;所述光刻胶包括感光剂、树脂、及溶剂,其中,所述感光剂、树脂、及溶剂的质量比为5:20:75。
4.如权利要求1所述的图案化电极的制作方法,其特征在于,所述步骤3中,采用狭缝涂布工艺涂覆所述石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶;所述显影液为氢氧化钾溶液,所述氢氧化钾溶液中氢氧化钾的质量百分比为0.04wt%;烘烤温度为230℃,烘烤时间为10min。
5.一种液晶显示面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液,将石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照一定比例进行混合,制得石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液;
步骤2、提供光刻胶,将石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液与光刻胶按照一定比例进行混合、搅拌后,制成具有导电能力的石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶;
步骤3、提供一彩膜基板(1),于所述彩膜基板(1)上涂敷步骤1中制得的石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液,烘烤后形成位于彩膜基板(1)上的第一电极(2),所述第一电极(2)为厚度均匀、连续不间断的整面电极,在所述第一电极(2)上制作第一液晶配向层(5);
步骤4、提供一阵列基板(3),于所述阵列基板(3)上涂敷步骤2中制得的石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶,再利用预定形状的掩膜板对涂敷于阵列基板(3)上的石墨烯/PEDOT:PSS光刻胶进行曝光,随后利用显影液进行显影,烘烤即可制得图案化的第二电极(4),在所述第二电极(4)上制作第二液晶配向层(6);
步骤5、组立所述彩膜基板(1)与阵列基板(3),使所述第一液晶配向层(5)与第二液晶配向层(6)相对设置,并在所述第一液晶配向层(5)与第二液晶配向层(6)之间灌入液晶,形成液晶层(7),制得液晶显示面板。
6.如权利要求5所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤1中,所述石墨烯水溶液中石墨烯的质量百分比为1wt%-99wt%,所述PEDOT:PSS溶液中PEDOT:PSS的质量百分比为1wt%-99wt%;所述石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照1:5-1:100的质量比进行混合。
7.如权利要求6所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤2中,所述石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液与光刻胶按照1:1-1:50的质量比进行混合;所述光刻胶包括感光剂、树脂、及溶剂,其中,所述感光剂、树脂、及溶剂的质量比为5:20:75。
8.如权利要求5所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤3中,采用旋涂法涂覆所述石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液,旋涂过程为:首先在500rpm的转速下旋涂10s,然后在800rpm的转速下旋涂20s;烘烤温度为120℃,烘烤时间为10min。
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