[发明专利]并联X-Y工作台

权利要求书

1.一种并联X-Y工作台，该工作台包括动工作平台（3）、X方向滚动直线导轨副机构（13）、Y方向滚动直线导轨副机构（10）；所述动工作平台（3）设置在静工作平台（2）上，所述静工作平台（2）设置在基座（1）上，所述X方向滚动直线导轨副机构（13）、Y方向滚动直线导轨副机构（10）分别设置在X方向导轨底座（11）和Y方向导轨底座（9）上，所述X方向滚动直线导轨副机构（13）的导轨滑块的顶端面与X方向薄板连接件（14）的一端刚性连接，所述X方向薄板连接件（14）的另一端与X方向矩形套筒（15）刚性连接，所述X方向矩形套筒（15）与X方向气缸（16）非刚性连接，所述X方向气缸（16）通过X方向螺栓（17）与动工作平台（3）刚性连接；所述Y方向滚动直线导轨副机构（10）的导轨滑块的顶端面与Y方向薄板连接件（7）的一端刚性连接，所述Y方向薄板连接件（7）的另一端与Y方向矩形套筒（4）刚性连接，所述Y方向矩形套筒（4）与Y方向气缸（5）非刚性连接，所述Y方向气缸（5）通过Y方向螺栓（6）与动工作平台（3）刚性连接;所述X方向导轨底座（11）和Y方向导轨底座（9）上分别设置X方向位移检测装置光栅尺（12）和Y方向位移检测装置光栅尺（8）;

所述X方向气缸（16）的缸筒嵌套在X方向矩形套筒（15）内，所述X方向矩形套筒（15）的上下两个内表面均与X方向气缸（16）的缸筒外表面无接触，所述X方向矩形套筒（15）的其余两个内表面均与X方向气缸（16）的缸筒外表面相接触；

所述Y方向气缸（5）的缸筒嵌套在Y方向矩形套筒（4）内，所述Y方向矩形套筒（4）的上下两个内表面均与Y方向气缸（5）的缸筒外表面无接触，所述Y方向矩形套筒（4）的其余两个内表面均与Y方向气缸（5）的缸筒外表面相接触。

2.根据权利要求1所述的并联X-Y工作台，其特征在于：所述X方向薄板连接件（14）与X方向滚动直线导轨副机构（13）在X方向上共线，均与X方向气缸（16）缸体保持垂直，所述X方向气缸（16）的活塞杆的运动方向与X向垂直。

3.根据权利要求1或2所述的并联X-Y工作台，其特征在于：所述Y方向薄板连接件（7）与Y方向滚动直线导轨副机构（10）在Y方向上共线，均与Y方向气缸（5）缸体保持垂直，所述Y方向气缸（5）的活塞杆的运动方向与Y向垂直。

4.根据权利要求3所述的并联X-Y工作台，其特征在于：所述X方向位移检测装置光栅尺（12）与X方向滚动直线导轨副机构（13）保持在X方向上平行，并且所述X方向位移检测装置光栅尺（12）的光栅读数头与X方向滚动直线导轨副机构（13）的导轨滑块的侧面刚性连接；所述X方向导轨底座（11）刚性连接固定于基座（1）上。

5.根据权利要求4所述的并联X-Y工作台，其特征在于：所述Y方向位移检测装置光栅尺（8）与Y方向滚动直线导轨副机构（10）保持在Y方向上平行，并且所述Y方向位移检测装置光栅尺（8）的光栅读数头与Y方向滚动直线导轨副机构（10）的导轨滑块的侧面刚性连接；所述Y方向导轨底座（9）刚性连接固定于基座（1）上。

6.根据权利要求5所述的并联X-Y工作台，其特征在于：所述X方向气缸（16）和Y方向气缸（5）分别刚性连接在动工作平台（3）的相邻两侧面上，且缸体与所连接面保持平行关系。