[发明专利]一种悬臂式探针系统在审
申请号: | 201510821440.8 | 申请日: | 2015-11-23 |
公开(公告)号: | CN105277755A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 岳小兵;张志勇;祁建华;施瑾;王锦 | 申请(专利权)人: | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 悬臂 探针 系统 | ||
1.一种悬臂式探针系统,其特征在于,包括探针、探针卡板以及防止所述探针的针尖熔断的保护装置,所述探针远离针尖的一端与所述保护装置一端焊接,所述保护装置另一端焊接于所述探针卡板上。
2.根据权利要求1所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述保护装置为熔断器,所述熔断器的熔断电流小于所述探针的针尖的理论导通电流的最大值。
3.根据权利要求2所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述熔断器为电流保险丝。
4.根据权利要求2所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述熔断器为自复熔断器。
5.根据权利要求2所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述熔断器的熔断电流为所述探针针尖的理论导通电流的最大值的80%。
6.根据权利要求1所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述探针弯折分为两部分,分别为探针针尖和探针针臂。
7.根据权利要求6所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述探针针臂与所述探针针尖之间的弯折角度为钝角。
8.根据权利要求6所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述探针卡板上具有环孔,所述悬臂式探针系统还包括绝缘环,所述绝缘环固定在所述环孔上,所述探针针臂通过固定胶固定在所述绝缘环上。
9.根据权利要求8所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述绝缘环为陶瓷环。
10.根据权利要求8所述的悬臂式探针系统,其特征在于,所述固定胶为环氧树脂。
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