[发明专利]一种卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡的持具工装及方法有效
申请号: | 201510821999.0 | 申请日: | 2015-11-23 |
公开(公告)号: | CN105448791B | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 曹熙丹;马力;丁琳 | 申请(专利权)人: | 上海卫星装备研究所 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/687;H01L21/48 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 郭国中;樊昕 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 搪锡 定位片 芯片 锡锅 托盘 工装 卡槽 卫星 烙铁 芯片焊盘 芯片设备 开口槽 翻边 管脚 焊盘 贴装 对准 平整 把手 | ||
1.一种卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡方法,其特征在于,采用卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡的持具工装来完成,所述持具工装包括芯片翻边托盘、定位片及定位片卡槽、持具把手,包括步骤如下:
1)准备
打开搪锡锅,将锡锅温度设置为预定温度;
2)定位片安装
根据待搪锡芯片尺寸,选择合适的定位片,通过定位片卡槽,安装至持具托盘;
3)芯片放置
使用防静电镊子,夹取待搪锡芯片,将芯片焊盘向下置于持具窗口,焊盘需完全对准定位片开口槽;
4)浸助焊剂
手握持具把手,将芯片浸于助焊剂溶液中,待焊盘完全浸润后即抬起;
5)搪锡
一手握住持具把手,另一手持防静电镊子轻压芯片顶部,将芯片轻轻浸入锡锅,将焊盘完全浸入锡锅液面,数秒后提起,芯片焊盘离开液面前,将握持把手的手食指抵住刮刀握杆,将刮刀沿开口槽滑动一个来回,使焊盘锡量均匀;
6)清洗
将搪完锡的芯片自然冷却至室温,并用蘸无水乙醇的无尘布擦拭焊盘。
2.根据权利要求1所述的卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡方法,其特征在于,所述定位片为可更换的定位片,适应于不同封装尺寸的VMOS管进行搪锡。
3.根据权利要求1所述的卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡方法,其特征在于,所述持具边缘进行折边处理,确保搪锡过程中,焊锡不会污染非焊盘处的器件本体。
4.根据权利要求1所述的卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡方法,其特征在于,所述持具采用窗口式设计,方便拾取芯片。
5.根据权利要求1所述的卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡方法,其特征在于,所述定位片底部设置刮刀,用于控制VMOS管芯片底部搪锡后的锡层平整度与光洁度。
6.根据权利要求1所述的卫星用VMOS管芯片锡锅搪锡方法,其特征在于,所述步骤1)中,锡锅温度设置为250℃±1℃。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造