[发明专利]一种高精度CVDZnSe透镜非球面加工方法

权利要求书

1.一种高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：下料；

第二步：磨外圆；

第三步：粗磨；

第四步：精修工装；

第五步：粗车；

第六步：半精车；

第七步：精车；

第八步：检测面形；

第九步：反馈精修；

所述第一步中，用内圆切割机对CVD ZnSe材料切割下料，得到ZnSe透镜毛坯，毛坯外圆留有0.5～3mm余量；中心厚留有0.5～4mm余量；

所述第二步中，用磨边机将外圆磨削至完工尺寸，外圆圆度不大于1μm。

2.如权利要求1所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第三步中，依据设计图纸中的非球面方程，计算非球面边缘矢高，采用三点画圆法得出非球面的最佳拟合半径，按照该半径对上步得到的CVD ZnSe透镜毛坯进行粗磨或铣磨开球面，得到透镜粗磨毛坯；以外圆为基准测量粗磨毛坯的边缘厚度差、凸面对端面跳动量在0.01～0.08mm之内。

3.如权利要求1所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第四步中，采用单点金刚石车削机床，以天然金刚石刀具对工装各个定位面进行超精密加工，粗磨毛坯的外圆与工装配合精度应小于0.01mm。

4.如权利要求3所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第五步中，采用单点金刚石车削机床，以天然金刚石刀具对粗磨毛坯进行粗加工，快速去除余量，粗成形非球面；车削工艺参数：主轴转速1000～4000r/min，切深0.1～0.6mm/次，进给量5～20mm/min。

5.如权利要求4所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第六步中，对粗车毛坯进行半精加工，消除刀差并去除粗车产生的损伤层，精加工非球面；车削工艺参数：主轴转速1000～4000r/min，切深0.004～0.1mm/次，进给量3～8mm/min。

6.如权利要求5所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第七步中，对CVD ZnSe透镜进行超精密车削加工，车削工艺参数：主轴转速1000～4000r/min，切深0.001～0.05mm/次，进给量1～5mm/min。

7.如权利要求1所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第八步中，用接触式轮廓仪依据非球面方程进行面形精度的工序检测，若面形合格，则为最终产品。

8.如权利要求1所述的高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，所述第九步中，若检测面形工步不能达到面形精度要求，根据检测结果再次精密车削加工非球面，直到面形指标符合技术要求。