[发明专利]MEMS中的弹簧结构、麦克风器件及加速度传感器

权利要求书

1.一种MEMS中的弹簧结构，其特征在于，包括：从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开；第一臂和第二臂的旋出端具有连接端，分别接固定部件和活动部件；其中，所述第一臂和第二臂的连接端在整个圆周方向延伸；

所述第一臂和所述第二臂的材料为介质材料，通过在介质材料层中刻蚀出螺旋的间隙的图案，通过间隙释放出所述第一臂和所述第二臂，从而形成上述的弹簧结构。

2.一种麦克风器件，其特征在于，包括麦克风背板及其上的振动膜，以及多个弹簧结构，其中：

振动膜，四周固定在固定部件上；

多个弹簧结构，位于振动膜中；

每个弹簧结构包括：从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开，第一臂和第二臂的旋出端具有连接端；

多个弹簧结构的第一臂的连接端朝向振动膜的边缘侧并依次连接，以及多个弹簧结构的第二臂的连接端朝向振动膜的中心侧且依次连接，以使得多个弹簧结构环绕振动膜一周；其中，所述第一臂和第二臂的连接端在整个圆周方向延伸。

3.根据权利要求2所述的麦克风器件，其特征在于，多个弹簧结构均匀分布于振动膜的一周。

4.一种加速度传感器，其特征在于，包括固定部件、活动电极以及弹簧结构，其中：

弹簧结构包括：从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开，第一臂和第二臂的旋出端具有连接端；

所述第一臂的旋出端和第二臂的旋出端在整个圆周方向延伸，且第一臂的连接端与固定部件连接，第二臂的连接端与活动电极连接。

5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，活动电极为叉指结构。