[发明专利]一种通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法

权利要求书

1.一种通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)蓝宝石基底的清洗：

将蓝宝石片依次放入去离子水、丙酮以及无水乙醇中分别超声清洗，除去表面的有机杂质；再用去离子水洗净，最后将蓝宝石基片放入无水乙醇中备用；

(2)制备钒薄膜：

将洗净并烘干的蓝宝石基片置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室进行溅射，在表面沉积钒薄膜；

(3)二氧化钒薄膜的制备：

将步骤(2)制得的钒薄膜放于快速退火炉中进行快速氧化热退火；炉内温度的改变规律分为为升温、保温、降温三个阶段，热氧化时通入的气体为高纯氧气，升温和保温时气体流量为3-7slpm，降温阶段气体流量固定为10slpm，保温温度为300-700℃，升温速率通过设定保温温度和升温时间来确定，例如保温温度为450℃,升温时间9s，升温速率则为50℃/s，保温时间70s-170s，降温时间90s。

2.根据权利要求1所述通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法，其特征在于，所述步骤(1)所用蓝宝石为0001晶面的双抛光的蓝宝石基底，厚度为0.45mm。

3.根据权利要求1所述通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法，其特征在于，所述步骤(2)采用超高真空对靶磁控溅射设备的真空室进行溅射的条件为：DPS-Ⅲ型超高真空对靶磁控溅射设备的真空室，采用质量纯度为99.99％的金属钒作为靶材，以质量纯度为99.99％的氩气作为工作气体，本体真空度4×10^-4Pa，基片温度为室温，氩气气体流量为48mL/min，溅射工作气压为2Pa，溅射功率75W，溅射时间10min-25min。

4.根据权利要求1所述通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法，其特征在于，所述步骤(3)的快速退火炉为AccuThermoAW610型快速退火炉。

5.一种权利要求1所述方法制备的二氧化钒薄膜在制备智能窗中的应用。