[发明专利]石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置有效
| 申请号： | 201510826421.4 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105372207B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 朱君;徐汶菊;秦柳丽;宋树祥;傅得立 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 材料 表面 等离子 波导 痕量 气体 传感 装置 | ||
【权利要求书】：
1.石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层介质层、中间层和顶层的石墨烯纳米阵列层，所述中间层为玻璃层，所述的石墨烯纳米阵列层为纳米粒子结构的石墨烯阵列层，所述石墨烯纳米阵列层通过氧化石墨烯方法得到，通过沉积、刻蚀的方法将石墨烯纳米粒子阵列层吸附在玻璃层上。
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