[发明专利]一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪

权利要求书

1.一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪，包括机械探针（7），步进电机（1），磁栅尺、底座（6），其特征是在所述底座（6）的两端设有支架（5），支架（5）的一端安装有步进电机（1），在支架（5）的中间设置丝杠导轨（2），步进电机（1）与丝杠导轨（2）连接，在丝杠导轨（2）上设置滑块（3）；所述磁栅尺为开放式，包括磁条（8）、磁头（9）；所述磁栅尺安装在所述滑块（3）的外表面，在所述滑块（3）上设置固定架（4），所述探针（7）直接与磁条（8）固定在固定架（4）上，所述磁头（9）设置在滑块（3）上，所述磁头（9）与探针（7）相嵌合。

2.根据权利要求1所述的一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪，其特征是所述磁条（8）的输出端与微型PC机连接，所述探针（7）的位移转化为所述磁条（8）的位移，所述磁条（8）位移转化为模拟量输出至微型PC。

3.根据权利要求1所述的一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪，其特征是所述探针（7）包括探针内芯（12）、探针外芯（13），在探针内芯（12）的下部设有弹簧（14）。

4.根据权利要求2所述的一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪，其特征是在所述探针内芯（12）的上部安装支撑架（11），支撑架（11）为倒“L”型，在“L”型的竖直边安装磁条（8）。

5.根据权利要求3所述的一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪，其特征是在所述磁条（8）与所述探针内芯（12）相平行。

6.根据权利要求2所述的一种基于磁栅尺的便携平整度测量仪，其特征是所述探针（7）在固定架（4）上的固定端利用弹簧（14）保持探针（7）始终与待测平面（10）保持接触。