[发明专利]一种光学元件重力变形补偿装置

权利要求书

1.一种光学元件重力变形补偿装置，其特征在于，包括：

外镜框（3），其内周设置有向上延伸的支撑台（31），其外侧壁与所述支撑台（31）之间设置有凹槽（32）；

可变形镜框（2），其通过上盖板（6）压紧于所述外镜框（3）内，且所述可变形镜框（2）由一体连接的镜框内环（21）、支撑圆环（22）和镜框外环（23）构成，其中，所述镜框内环（21）用于与光学元件固连，所述支撑圆环（22）支撑于所述支撑台（31）的上方，所述镜框外环（23）悬于所述凹槽（32）的上方；

第一环形电磁铁（41），设置于所述上盖板（6）的下表面；

第二环形电磁铁（42），设置于所述镜框外环（23）的上表面，与所述第一环形电磁铁（41）相对，所述第二环形电磁铁（42）与所述第一环形电磁铁（41）之间的排斥力分别垂直作用于所述镜框外环（23）和所述上盖板（6）上。

2.按照权利要求1所述光学元件重力变形补偿装置，其特征在于，还包括：

传感器（5），设置于所述镜框外环（23）的下方，与所述第二环形电磁铁（42）的位置相对应，用于实时检测所述镜框外环（23）沿光轴方向的位移量；

且所述第一环形电磁铁（41）和所述第二环形电磁铁（42）中通入的控制电流大小依据所述传感器（5）检测到的位移量进行调整。

3.按照权利要求2所述光学元件重力变形补偿装置，其特征在于：所述传感器（5）的个数为多个，其沿着所述镜框外环（23）周向均匀布置。

4.按照权利要求3所述光学元件重力变形补偿装置，其特征在于：传感器（5）的分布圆与所述镜框外环（23）同轴度优于0.05mm。

5.按照权利要求2所述光学元件重力变形补偿装置，其特征在于：所述外镜框（3）的外侧壁上设置有通孔（33），所述通孔（33）用于所述第一环形电磁铁（41）和所述第二环形电磁铁（42）的控制电流以及所述传感器（5）输出信号的外接。

6.按照权利要求1所述光学元件重力变形补偿装置，其特征在于：

所述可变形镜框（2）的外壁与所述第二环形电磁铁（42）固定环面之间同轴度优于0.05mm；

所述上盖板（6）外缘与所述第一环形电磁铁（41）固定环面之间同轴度优于0.05mm。

7.按照权利要求1所述光学元件重力变形补偿装置，其特征在于：所述上盖板（6）与所述外镜框（3）之间采用优于H7g6的间隙配合。