[发明专利]平整度检测装置

权利要求书

1.一种平整度检测装置，其特征在于，包括：

一承载机构，用于承载一待测装置，以限定一承载面；

一可升降支撑机构，用于支撑所述承载机构，并带动所述承载机构作升降 运动直至将所述承载面调整为一基准面；以及

一测量机构，用于测量所述待测装置的一底面与所述基准面的一高度差， 以检测所述待测装置的平整度。

2.如权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述承载机构为一 多棱柱，每个所述承载机构通过其中一个棱边承载所述待测装置。

3.如权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述承载机构为一 三棱柱。

4.如权利要求2或3所述的平整度检测装置，其特征在于，所述承载机构 承载所述待测装置的区域具有容纳所述测量机构的缺口。

5.如权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述承载机构之两 端具有一定位孔，所述可升降支撑机构包括：

一第一杆件组件，包括：

一第一杆件，具有一第一杆端及与所述第一杆端对应的一第二杆端；

一第一旋拧件，设置于所述第一杆端，并能够沿所述第一杆件旋拧以调 整高度；

一定位柱，设置于所述第一杆端；以及

一固定柱，刚性固设于所述第一杆件并设置于所述第二杆端一移动距离； 以及

一第二杆件组件，包括：

一第二杆件，具有一第三杆端及与所述第三杆端对应的一第四杆端，所 述第三杆端具有一盲孔，所述盲孔之深度为一盲深；以及

一第二旋拧件，设置于所述第三杆端，并能够沿所述第二杆件旋拧以调 整高度，且能够使所述第一杆件之所述第二杆端插入所述第二杆件之所述盲孔；

其中，所述移动距离大于所述盲深；所述可升降支撑机构通过所述定位柱 插入所述定位孔支撑所述承载机构。

6.如权利要求5所述的平整度检测装置，其特征在于，所述第一旋拧件调 整所述承载机构与所述可升降支撑机构之间的配合深度。

7.如权利要求5所述的平整度检测装置，其特征在于，所述第二旋拧件调 整所述待测装置的所述底面与所述基准面的所述高度差。

8.如权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述测量机构包括：

一测量部，用于测量所述待测装置的所述底面与所述基准面的所述高度差； 以及

一支撑部，用于支撑所述测量部。

9.如权利要求8所述的平整度检测装置，其特征在于，所述测量部为一数 显千分表。