[发明专利]一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法

权利要求书

1.一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，

包括样品车行走通道、磁耦合传输系统(3)、传输小车组件(8)、支架、真空抽气系统及控制系统，其中样品车行走通道安装在所述支架上，所述真空抽气系统与所述样品车行走通道连接，用于所述样品车行走通道抽真空，所述样品车行走通道内设有在轨道上行驶的传输小车组件(8)，所述样品车行走通道的外部设有磁耦合传输系统(3)，所述磁耦合传输系统(3)与控制系统点连接、并通过所述控制系统的控制来实现与所述传输小车组件(8)磁耦合及带动所述传输小车组件(8)前行；

所述磁耦合传输系统(3)包括齿形带(301)、驱动气缸(303)、调节支杆(304)、定位光耦(305)、支撑横梁(308)、伺服电机(309)、限位块(310)、导轨(311)及永磁磁钢(312)，其中支撑横梁(308)通过调节支杆(304)安装在所述支架上、并与所述样品车行走通道平行，所述支撑横梁(308)上设有导轨(311)、定位光耦(305)及齿形带传动装置，所述限位块(310)与所述齿形带传动装置中的齿形带(301)固定连接，所述限位块(310)通过滑块与所述导轨(311)滑动连接；所述驱动气缸(303)安装在所述限位块(310)上，所述驱动气缸(303)的输出轴与所述永磁磁钢(312)连接。

2.根据权利要求1所述的用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，所述样品车行走通道包括通过气动闸板阀依次连接的进样室(6)、过渡室(5)、传输室(2)及交接室(4)，所述进样室(6)、过渡室(5)及传输室(2)的外侧均设有磁耦合传输系统(3)。

3.根据权利要求1所述的用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，所述导轨(311)的两端设有限位开关(307)。

4.根据权利要求1所述的用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，所述驱动气缸(303)沿竖直方向输出动力。

5.根据权利要求1所述的用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，所述传输小车组件(8)包括小车底板(801)、车轮组件(805)、样品托座(807)及内磁钢组件(809)，其中小车底板(801)的底部设有车轮组件(805)，所述小车底板(801)的上方设有样品托座(807)，所述小车底板(801)的两端均设有内磁钢组件(809)。

6.根据权利要求5所述的用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，所述内磁钢组件(809)通过磁铁支杆(810)安装在所述小车底板(801)的两端，所述小车底板(801)的侧面设有齿条(802)。

7.一种利用权利要求1-6任一项所述的用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统的生产方法，其特征在于，

样品车行走通道通过真空抽气系统进行抽真空；

将装有样品的托盘置于传输小车组件(8)上，所述传输小车组件(8)置于样品车行走通道内的轨道上，所述传输小车组件(8)与设置于所述样品车行走通道外部的磁耦合传输系统(3)产生的磁力传动配合，进行样品传输；

控制系统控制传输小车组件(8)在样品车行走通道中完成向各实验设备交接的过程。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述样品车行走通道包括通过气动闸板阀依次连接的进样室(6)、过渡室(5)、传输室(2)及交接室(4)，所述进样室(6)、过渡室(5)及传输室(2)的外侧均设有所述磁耦合传输系统(3)，所述传输小车组件(8)通过磁耦合传输系统(3)磁耦合进行跨闸板阀传输，各真空测量及各闸板阀开启与传输小车组件(8)的传输自动配合。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述传输小车组件(8)跨闸板阀传输过程是：所述磁耦合传输系统(3)首先与所述传输小车组件(8)尾部磁耦合进行传输、并跨闸板阀推送至下一个腔室，下一腔室外的磁耦合传输系统(3)与所述传输小车组件(8)的头部磁耦合，将所述传输小车组件(8)拉入该腔室内。