[发明专利]长度测量装置

说明书

本发明涉及一种具有标尺（1）和装配元件（2）的长度测量装置，利用所述装配元件能够将所述标尺（1）沿纵向方向（X）刚性地紧固在基座（5）处。所述装配元件（2）具有第一紧固区段（21）和第二紧固区段（22），利用所述第一紧固区段将所述装配元件位置固定地布置在所述标尺（1）处，构造所述第二紧固区段用于与所述基座（5）位置固定地紧固。在所述第一紧固区段（21）和所述第二紧固区段（22）之间设置允许所述第一紧固区段（21）相对于所述第二紧固区段（22）垂直于纵向方向（X）的运动的机构。所述机构是固体铰链形式的沿纵向方向（X）定向的撑杆（23、24）。

技术领域

本发明涉及一种长度测量装置。

背景技术

这样的长度测量装置尤其在加工机床中用于测量工具关于待加工的工件的相对位置、在坐标测量机中用于测定被测对象的位置和尺寸以及也在半导体工业中得到使用。在此，将标尺（Maßstab）直接加装在基座处、例如在驱动单元（例如线性马达）处或者将标尺加装在通过所述驱动单元驱动的部件处。将长度测量装置的扫描单元相对于运动的标尺静止地布置在第二对象处，该第二对象相对于所述基座的相对位置应该得到测量。

为了形成所述标尺相对于所述基座的固定点,已知的是，将所述标尺在基座处的一个部位处沿测量方向位置固定地固定。

在大多数情况下，所述标尺和所述基座由具有不同的热膨胀性能的材料制成。该位置固定的固定如下构造，使得在温度变化时没有约束力由基座施加到所述标尺上。

根据EP 0 264 801 A1，所述标尺的位置固定的固定借助于一方面装入在所述标尺的V槽中并且另一方面装入在夹具（Fassung）的V槽中并且由此形成形状配合的球体实现。所述标尺借助于弹簧挤压到所述球体处，从而一方面确保所述球体和所述标尺之间的形状配合以及另一方面确保所述球体和所述夹具之间的形状配合。

根据WO 02/27265 A2，沿测量方向的位置固定的固定借助于具有第一紧固区段和第二紧固区段的装配元件实现，所述装配元件利用第一紧固区段位置固定地在所述标尺处紧固，所述装配元件利用第二紧固区段在基座处紧固。在所述第一紧固区段和所述第二紧固区段之间设置滚子轴承，该滚子轴承允许所述标尺相对于所述基座垂直于测量方向的移动。

发明内容

本发明的任务在于，说明一种长度测量装置，所述长度测量装置紧凑地构造并且利用该长度测量装置实现精确的位置测量。

根据本发明，该任务通过一种长度测量装置得到解决。所述长度测量装置具有：标尺，所述标尺沿纵向方向延伸并且所述标尺具有用于沿纵向方向位置测量的测量刻度；至少一个装配元件，利用所述装配元件能够将所述标尺沿纵向方向刚性地紧固在基座处，其中，所述装配元件具有第一紧固区段和第二紧固区段，利用所述第一紧固区段将所述装配元件位置固定地布置在所述标尺处，构造所述第二紧固区段用于与所述基座位置固定地紧固，其中，在所述第一紧固区段和所述第二紧固区段之间设置允许所述第一紧固区段相对于所述第二紧固区段垂直于纵向方向的运动的机构，其特征在于，所述机构是多个能够弯曲的撑杆的布置，所述布置通过弯曲允许所述第一紧固区段相对于所述第二紧固区段垂直于纵向方向的运动，其中，构造所述撑杆的布置用于如下补偿所述撑杆的通过所述弯曲引起的长度变化，使得由此没有产生在所述第一紧固区段和所述第二紧固区段之间沿纵向方向的运动。