[发明专利]一种AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液

权利要求书

1.一种AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，其组分按重量百分比计包括：

（1）3～10%重量的硝酸；

（2）10～25%重量的醋酸；

（3）30～60%重量的磷酸和可溶性正磷酸盐的混合物；

（4）1～5%重量的添加剂；

（5）余量的去离子水；

添加剂包含硝酸盐。

2.根据权利要求1所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，磷酸和可溶性正磷 酸盐的混合物中可溶性正磷酸盐的重量百分比为5～30%。

3.根据权利要求1所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，可溶性正磷酸盐为 可溶性磷酸一氢盐和可溶性磷酸二氢盐的混合物。

4.根据权利要求3所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，可溶性磷酸一氢盐 和可溶性磷酸二氢盐的重量之比为1：（1～4）。

5.根据权利要求4所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，可溶性磷酸一氢盐 为选自磷酸一氢钠和磷酸一氢钾中的至少一种，可溶性磷酸二氢盐为选自磷酸二氢钠和磷 酸二氢钾中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，添加剂包含有机膦 磺酸，AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液中有机膦磺酸的重量占比为0.01～1%。

7.根据权利要求1所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，有机膦磺酸的结构 通式为HO₃S(CH₂)_m-N-(CH₂PO₃H₂)_n中的至少一种，m为1～2，n为1～2。

8.根据权利要求6所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，添加剂还包含醇类 消泡剂，AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液中醇类消泡剂重量占比为0.01～1%。

9.根据权利要求8所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，醇类消泡剂为选自 二乙基己醇、异辛醇、异戊醇、二异丁基甲醇中的至少一种。

10.根据权利要求1或6或8所述的AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液，其特征在于，所述硝酸 盐为选自硝酸钠、硝酸钾、硝酸铵中的至少一种。