[发明专利]低温泵

说明书

技术领域

本发明涉及泵技术领域，具体涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉于冷却成超低温的低温板上而进行排气的真空泵，其广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等领域。

低温泵的泵本体工作温度一般低于零下一百多摄氏度，根据低温泵的泵本体内工作环境，各部件需要在充分润滑的情况下才能正常工作，润滑不到位将会出现零件失效的情况，从而影响低温泵的正常工作，给维修带来很大的成本。相关技术中，低温泵自带一套润滑系统，所述润滑系统只能润滑其内部的部分部件，而大部分部件工作时处于无润滑状态，从而使所述低温泵的故障率高。

因此，有必要提供一种新的低温泵解决上述问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种能实现对多个润滑点进行自润滑的低温泵。

本发明提供一种低温泵，包括泵本体、自润滑系统和电机，所述自润滑系统设于所述泵本体内，所述泵本体包括具有收容空间的壳体、收容于所述壳体内的主轴以及由所述泵本体的进口至所述电机方向依次设置的叶轮、后盖、第一轴承、内磁联轴器、增压叶轮、第二轴承和隔离套，所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路以及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成；所述轴承支路由所述润滑槽连通所述第一轴承形成；所述主轴支路由所述润滑槽、所述主轴上的油槽及所述增压叶轮依次连通形成；所述第一支路由所述增压叶轮、所述内磁联轴器的管路槽及所述第一轴承依次连通形成，所述第二支路由所述增压叶轮连通所述内磁联轴器与所述隔离套之间的通道形成，所述第三支路由所述增压叶轮、所述隔离套的流槽、所述第二轴承和所述主轴的油槽依次连通形成。

优选的，所述第二支路的润滑液为经所述增压叶轮汽化后的润滑液。

优选的，所述增压叶轮外端面具有斜角，所述斜角倾斜于所述第二支路。

优选的，所述低温泵的工作温度小于或等于﹣196℃。

与相关技术相比，本发明提供的低温泵，将所述自润滑系统内置于所述泵本体内，所述自润滑系统包括多条管路，能够实现对泵本体内的多个部件进行自润滑功能，且所述增压叶轮的设计，能提高所述自润滑系统的润滑效果，从而保证泵本体内各部件的正常运行，提高所述低温泵的工作效率，延长其使用寿命。

附图说明

图1为本发明低温泵的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

请参阅图1，为本发明低温泵的结构示意图。所述低温泵1包括泵本体11、自润滑系统12和电机13。所述自润滑系统12设于所述泵本体11内。所述电机13与所述泵本体11连接。

所述泵本体11包括具有收容空间的壳体101、收容于所述壳体101内的主轴102以及由所述泵本体11的入口1011至所述电机13方向依次设置的叶轮103、后盖104、第一轴承105、内磁联轴器106、增压叶轮107、第二轴承108和所述隔离套109。

所述叶轮103、所述后盖104、所述第一轴承105、所述内磁联轴器106、所述增压叶轮107及所述第二轴承108分别与所述主轴102连接，所述隔离套109环设于所述内磁联轴器106。

所述壳体101与所述叶轮103形成流道1012。所述主轴102具有油槽1021。所述后盖104具有润滑槽1041。所述内磁联轴器106与所述隔离套109间隔设置形成通道1091。所述隔离套109具有流槽1092。

所述自润滑系统12包括相连通的主流道120、轴承支路121、主轴支路122以及由所述主轴支路122延伸的第一支路123、第二支路124和第三支路125。

所述主流道120由所述壳体101的入口1011、所述壳体101与所述叶轮103形成的所述流道1012、所述后盖104的所述润滑槽1041依次连通形成。

所述轴承支路121由所述润滑槽1041连通所述第一轴承105形成，润滑液可对所述第一轴承105进行润滑。

所述主轴支路122由所述润滑槽1041、所述主轴102上的所述油槽1021及所述增压叶轮107依次连通形成。

所述第一支路123由所述增压叶轮107、所述内磁联轴器106的管路槽1061及所述第一轴承105依次连通形成，润滑液可通过所述第一支路123回到所述轴承105。