[发明专利]一种用于高温共烧AlN多层布线基板的填孔钨浆及制备方法

权利要求书

1.一种用于高温共烧AlN多层布线基板的填孔钨浆，其特征在于，包含有下述质量配比的原料：

85～92％的钨粉混合物、2～9％的无机粘结剂和6～13％的有机载体，所述钨粉混合物包含两种不同粒径的钨粉，一种为粒径在0.3～0.9μm的钨粉以及另外一种为粒径在1.0～2.5μm的钨粉，其粒径在0.3～0.9μm的钨粉占钨粉混合物的质量分数为45～65％。

2.根据权利要求1所述的填孔钨浆，其特征在于，所述无机粘结剂包含有下述质量配比的原料：92～97.5％的AlN粉、2～7％的烧结助剂和0.5～1％的分散剂。

3.根据权利要求1所述的填孔钨浆，其特征在于，所述有机载体包含有下述质量配比的原料：10～25％的有机粘结剂、0.5～5％的分散剂、10～40％的增塑剂和30～79.5％的溶剂。

4.根据权利要求1所述的填孔钨浆，其特征在于，所述两种不同粒径的钨粉在其平均粒度要求范围内，钨含量＞99.95％。

5.一种权利要求1所述填孔钨浆的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)将两种不同粒径的钨粉混合球磨，制成钨粉混合物；

2)制备无机粘结剂；

3)制备有机载体；

4)按照一定配比称取制备好的钨粉混合物、无机粘结剂、有机载体并搅拌均匀，形成混合浆料；

5)将搅拌混合均匀后的浆料进行轧料，控制浆料的粒度在要求范围内。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)的具体方法为：

将称量好的两种不同粒径的钨粉分别过200～300目网筛，除去大颗粒和硬团聚，将过筛后的两种钨粉加入到球磨罐中，再向球磨罐中添加溶剂进行球磨，球磨结束后将浆料倒入敞口的容器中进行干燥，最后将干燥后的粉末粉碎过筛。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2)制备无机粘结剂的具体方法为：称取烧结助剂、分散剂、溶剂进行第一步球磨，球磨的转速为30～60r/min，时间为0.5～2h，然后再加入AlN粉进行第二步球磨，球磨的转速为30～60r/min，时间为1～4h，球磨结束后将浆料倒入敞口的容器中进行干燥，干燥时间一般为12～60h，最后将干燥后的粉末粉碎过筛。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)制备有机载体的具体方法为：称取有机粘结剂、分散剂、增塑剂、溶剂，并加入到搅拌溶解容器中，各组分加入后设置搅拌器转速开始搅拌溶解，溶解时间为1～6h，搅拌速度为200～500r/min。

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中，搅拌速度为200～500r/min，时间为0.5～2h。

10.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤5)中，采用三辊机进行轧料，反复轧料4～10次。